| 1 绪论 | 第1-13页 |
| 1．1 激光器简介 | 第7-10页 |
| 1．2 光栅简介 | 第10-12页 |
| 1．3 本文研究意义及主要内容 | 第12-13页 |
| 2 光栅位移测量系统理论及方法 | 第13-29页 |
| 2．1 光测量系统现状 | 第13页 |
| 2．2 光栅测量原理 | 第13-15页 |
| 2．3 光栅傅里叶分析 | 第15-22页 |
| 2．4 莫尔条纹的长度测量原理 | 第22-29页 |
| 3 系统硬件电路 | 第29-45页 |
| 3．1 系统的构成 | 第29-31页 |
| 3．2 信号发射系统 | 第31-33页 |
| 3．3 信号接收系统 | 第33-35页 |
| 3．4 信号处理系统 | 第35-43页 |
| 3．5 对干扰信号的处理 | 第43-45页 |
| 4 软件设计 | 第45-49页 |
| 4．1 总体设计 | 第45页 |
| 4．2 内部资源分配 | 第45页 |
| 4．3 主程序的设计 | 第45-47页 |
| 4．4 主要功能子程序的设计 | 第47-49页 |
| 5 误差分析 | 第49-54页 |
| 5．1 位移测量环境引入的误差 | 第49-51页 |
| 5．2 光电转换与计数细分引入的误差 | 第51-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-57页 |