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ZnSe薄膜生长及工艺优化

摘要第1-4页
Abstract第4-5页
目录第5-8页
第一章 文献综述第8-30页
   ·引言第8页
   ·ZnSe的主要应用第8-10页
   ·ZnSe晶体的理化性质第10-16页
     ·ZnSe晶体结构第10-11页
     ·ZnSe的能带结构第11-12页
     ·ZnSe的相图及热力学性质第12-15页
     ·ZnSe的其它理化性质第15-16页
   ·ZnSe晶体的生长技术及其研究现状第16-24页
     ·化学气相沉积法(Chemical Vapor Deposition)第17-18页
     ·物理气相沉积法(PVD)第18页
     ·分子束外延生长法(MBE,即Molecule Beam Epitaxy)第18-19页
     ·热壁外延法(Hot Wall Epitaxy)第19-21页
     ·化学浴沉积法(CBD)第21-22页
     ·电化学沉积方法第22-23页
     ·脉冲激光沉积法第23-24页
   ·研究目标与课题来源第24页
   ·研究内容第24-25页
 参考文献第25-30页
第二章 ZnSe薄膜的热壁外延法生长第30-48页
   ·引言第30页
   ·热壁外延生长的原理第30-34页
     ·基本原理和方法第30-31页
     ·ZnSe薄膜的热壁外延生长原理分析第31-34页
   ·热壁外延设备的建立和温场的实现第34-38页
     ·热壁外延炉的建造第34-35页
     ·温度梯度场的实现第35-38页
     ·反应管的设计与制作第38页
   ·衬底的选择与处理第38-40页
   ·薄膜制备实验第40页
   ·实验结果及测试分析第40-45页
   ·输运剂的作用分析第45-46页
   ·小结第46-47页
 参考文献第47-48页
第三章 改进溶剂热法制备ZnSe薄膜研究第48-60页
   ·引言第48页
   ·溶剂热法制备ZnSe的进展第48页
   ·制备实验发第48-50页
     ·反应釜的制作第48-49页
     ·衬底的选择与处理第49页
     ·原料与反应试剂的选择第49-50页
     ·实验过程第50页
   ·实验结果测试及分析第50-52页
   ·不同工艺条件对薄膜生长的影响第52-58页
     ·不同衬底处理方法的影响第53-54页
     ·不同生长温度的影响第54-57页
     ·不同保温时间的影响第57-58页
   ·小结第58-59页
 参考文献第59-60页
第四章 ZnSe纳米晶的溶剂热法制备第60-66页
   ·引言第60页
   ·溶剂热法的进展第60-61页
   ·制备实验第61-62页
   ·实验结果测试及讨论第62-64页
   ·小结第64-65页
 参考文献第65-66页
主要结论第66-68页

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