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氨化硅基磁控溅射Ga2O3/Co薄膜制备GaN纳米结构和薄膜的研究

摘要第1-7页
Abstract第7-10页
第一章 绪论第10-32页
   ·GAN 材料及器件发展简述第10-11页
   ·GAN 材料的晶体结构和基本物理性质第11-16页
   ·GAN 薄膜的研究现状第16-20页
   ·一维GAN 纳米材料的研究概况第20-29页
   ·本论文的选题依据第29-32页
第二章 实验设备与测试方法第32-40页
   ·实验设备介绍第32-34页
   ·实验材料第34-35页
   ·样品的测试和表征第35-40页
第三章 两步生长模式合成GAN 纳米结构和薄膜的研究第40-64页
   ·氨化溅射Ga_2O_3/CO 薄膜制备GAN 纳米线第40-41页
   ·氨化温度对合成一维GAN 纳米结构的影响第41-48页
   ·氨化时间对合成一维GAN 纳米结构的影响第48-52页
   ·不同中间层厚度合成一维GAN 纳米结构的对比第52-55页
   ·GAN 纳米结构的生长机制初探第55-58页
   ·氨化合成GAN 薄膜第58-64页
第四章 全文总结第64-66页
   ·本论文的主要研究结果第64-65页
   ·对今后研究工作的建议第65-66页
参考文献第66-76页
论文作者在学期间发表的学术论文目录第76-80页
致谢第80-81页

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