多功能共焦表面测量系统研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-13页
第1章 绪论	第13-32页
·课题研究的目的和意义	第13-14页
·表面轮廓测量技术的研究和应用现状	第14-27页
·光干涉显微轮廓检测技术	第14-17页
·结构光投影轮廓检测技术	第17-19页
·光探针轮廓检测技术	第19-26页
·各种光学测量方法的比较	第26-27页
·表面评定技术的研究现状	第27-30页
·最小二乘中线	第28页
·滤波中线	第28-30页
·Motif 法	第30页
·分形法	第30页
·课题的来源及主要研究内容	第30-32页
·课题的主要来源	第30页
·主要研究内容	第30-32页
第2章 差动共焦测量系统的理论分析和参数优化	第32-51页
·引言	第32-33页
·测量方法的基本原理	第33-34页
·测量方法的成像理论分析	第34-43页
·傅里叶光学的理论基础	第34-39页
·单光路共焦技术的理论分析	第39-41页
·差动光路共焦技术的理论分析	第41-43页
·差动光路共焦系统的影响因素分析及参数优化	第43-50页
·点探测器轴向偏移量的影响	第43-45页
·针孔光阑尺寸的影响	第45-48页
·其它影响因素分析	第48-50页
·本章小结	第50-51页
第3章 多功能共焦表面测量系统的设计	第51-70页
·引言	第51页
·测量系统的原理	第51-53页
·光学系统的设计	第53-63页
·差动共焦光学系统的原理参数设计	第53-55页
·显微视觉光学系统参数的设计	第55-59页
·精密视觉位移测量系统的光学参数设计	第59-63页
·系统的机械结构设计	第63页
·光电信号转换和处理系统	第63-66页
·计算机控制数据采集和处理系统	第66-68页
·软件系统设计	第68-69页
·本章小结	第69-70页
第4章 双密度小波表面形貌分离技术研究	第70-82页
·引言	第70页
·表面评定技术的发展	第70-71页
·双密度小波的原理及特性	第71-74页
·滤波特性	第72-73页
·平移不变性	第73-74页
·双密度小波在表面形貌分离中的应用	第74-76页
·仿真和实验验证	第76-81页
·本章小结	第81-82页
第5章 显微视觉图像处理与重构	第82-94页
·引言	第82页
·显微图像重构的基本原理	第82-84页
·显微图像的预处理	第84-85页
·聚焦评价函数的选择	第85-86页
·图像灰度熵	第85页
·灰度梯度平方	第85页
·拉普拉斯算子	第85-86页
·小波变换	第86页
·聚焦深度恢复	第86-92页
·聚焦评价函数曲线的双密度小波去噪方法研究	第87-89页
·仿真和实验验证	第89-92页
·全聚焦图像的获取	第92-93页
·三维重构的实现	第93页
·本章小结	第93-94页
第6章 实验结果及分析	第94-107页
·引言	第94页
·实验系统	第94页
·共焦系统的实验分析	第94-98页
·不同表面特性曲线的测试	第95-96页
·共焦系统轴向响应曲线灵敏度测试	第96页
·共焦系统重复性	第96-97页
·共焦系统的稳定性	第97-98页
·精密视觉位移测量系统的实验与分析	第98-101页
·精密视觉位移测量系统的校准	第98-99页
·精密视觉位移测量系统的稳定性	第99-100页
·精密视觉位移测量系统的重复性	第100-101页
·实际表面的测量	第101-102页
·粗糙度表面的测量	第101页
·台阶的测量	第101-102页
·显微系统的重构实验	第102-104页
·量块非工作面的形貌重构	第102-104页
·Ra=0.4μm 粗糙度样板表面的重构	第104页
·误差分析	第104-106页
·本章小结	第106-107页
结论	第107-109页
参考文献	第109-119页
攻读学位期间发表的学术论文	第119-121页
致谢	第121-122页
个人简历	第122页