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用于电阻开关存储器的新型介质薄膜和工艺的研究

摘要第1-6页
Abstract第6-8页
第一章 存储器技术的现状和新兴技术第8-18页
   ·引言第8页
   ·传统硅基半导体存储器第8-9页
   ·新型无机存储器件第9-13页
     ·铁电随机存储器件(FeRAM)第10-11页
     ·磁阻随机存储器件(MRAM)第11-12页
     ·相变随机存储器件(PRAM)第12-13页
     ·电阻开关随机存储器件(RRAM)第13页
   ·新型有机存储器件第13-16页
     ·一次写入,多次读出式存储器件(WORM)第14-15页
     ·电可擦写可读取存储器件第15-16页
   ·研究思路和本文的工作第16-18页
第二章 存储介质的制备工艺和器件工作机制第18-25页
   ·概述传统制备工艺的分类第18-19页
   ·RRAM器件的三种主要机制第19-22页
     ·界面氧空位分布导致的电阻开关效应第19-20页
     ·phase change memory机制第20-21页
     ·filament formation—rupture机制第21-22页
   ·所用到的导电模型第22-25页
     ·trap—free SCLC模型第23页
     ·trap—limited SCLC模型第23-25页
第三章 实验方法第25-30页
   ·实验方法概述第25页
   ·实验材料第25-27页
     ·实验必备材料第25-26页
     ·实验用到无机盐和有机分子材料第26-27页
   ·实验仪器与设备第27页
   ·器件的制备工艺第27-29页
   ·测试方法第29-30页
第四章 基于CuSCN复合薄膜的电存储特性第30-56页
   ·引言第30页
   ·固固界面反应制备CuSCN复合薄膜的电存储特性第30-45页
     ·实验第30-31页
     ·实验结果和讨论第31-38页
     ·器件的极性开关机制第38-41页
     ·参比实验第41-43页
     ·可靠性分析第43-45页
     ·本章小结第45页
   ·固液界面反应制备基于二硫氰前体的介质薄膜的电存储特性第45-56页
     ·实验第45-51页
     ·复合薄膜的表征和分析第51-53页
     ·优化工艺参数的器件性能第53-56页
第五章 基于Cu—DMcT配位聚合物薄膜的WORM器件特性第56-69页
   ·引言第56页
   ·实验第56-57页
     ·有机分子材料第56页
     ·介质层薄膜和器件的制备工艺第56-57页
   ·实验结果和讨论第57-69页
     ·溶剂系列器件性能第57-59页
     ·浓度系列器件性能第59-60页
     ·时间系列器件性能第60-61页
     ·最优器件参数组合器件性能第61-69页
第六章 结论和展望第69-71页
参考文献第71-81页
发表论文及专利第81-82页
致谢第82-83页

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