| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 第一章 引言 | 第11-18页 |
| ·研究背景及现状 | 第11-14页 |
| ·太阳电池材料研究现状 | 第12-13页 |
| ·硫族锡化物薄膜的研究及应用 | 第13-14页 |
| ·Sn_2S_3薄膜的基本性质与制备方法 | 第14-16页 |
| ·Sn_2S_3基本性质 | 第14-15页 |
| ·Sn_2S_3薄膜制备方法 | 第15-16页 |
| ·薄膜的热处理工艺 | 第16-17页 |
| ·本项研究的目的及意义 | 第17-18页 |
| 第二章 实验 | 第18-23页 |
| ·实验设备 | 第18页 |
| ·实验药品 | 第18页 |
| ·玻璃衬底及蒸发源的清洁处理 | 第18-19页 |
| ·薄膜的制备 | 第19-20页 |
| ·Sn_2S_3薄膜制备 | 第19页 |
| ·Sb掺杂薄膜的制备 | 第19-20页 |
| ·测试方法及仪器 | 第20页 |
| ·薄膜的热处理工艺 | 第20-23页 |
| 第三章 结果与讨论 | 第23-44页 |
| ·薄膜的结构特性 | 第23-29页 |
| ·未掺杂Sn_2S_3薄膜结构特性 | 第23-25页 |
| ·3%Sb掺杂薄膜的结构特性 | 第25-26页 |
| ·5%Sb掺杂薄膜的结构特性 | 第26-28页 |
| ·薄膜晶粒尺寸计算 | 第28-29页 |
| ·薄膜表面形貌特征及化学组分 | 第29-32页 |
| ·未掺杂Sn_2S_3薄膜的表面形貌及组分分析 | 第29-31页 |
| ·5%Sb掺杂Sn_2S_3薄膜表面形貌特征及化学组分 | 第31-32页 |
| ·薄膜表面化学成分分析 | 第32-37页 |
| ·X射线光电子能谱(XPS)分析原理 | 第32-33页 |
| ·Sn_2S_3薄膜表面能谱分析 | 第33-35页 |
| ·5%Sb掺杂Sn_2S_3薄膜表面能谱分析 | 第35-37页 |
| ·薄膜的导电特性 | 第37-38页 |
| ·薄膜的光学特性 | 第38-44页 |
| ·半导体光吸收系数与光学带隙的关系 | 第38-39页 |
| ·未掺杂Sn_2S_3薄膜的光学特性 | 第39-41页 |
| ·5%掺Sb的Sn_2S_3薄膜光学特性 | 第41-44页 |
| 第四章 结论 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-48页 |
| 致谢 | 第48-49页 |
| 硕士期间发表学术论文 | 第49页 |
| 硕士期间参加的科研课题 | 第49页 |