晶圆搬运机器人的开发及控制系统设计

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
第1章 绪论	第8-14页
·课题背景	第8-9页
·晶圆搬运机器人综述	第9-13页
·晶圆搬运机器人的发展与分析	第9-10页
·现有晶圆搬运机器人技术分析	第10-12页
·新型直驱晶圆搬运机器人	第12-13页
·本文研究的主要内容	第13-14页
第2章 机器人的运动学与动力学分析	第14-28页
·机器人机械结构设计	第14-18页
·机器人总体机械结构设计方案	第14-16页
·机器人水平运动及垂直运动机械结构设计	第16-18页
·晶圆搬运机器人的运动学方程	第18-23页
·前向运动学	第19-20页
·逆向运动学	第20-22页
·工作空间	第22页
·雅克比矩阵	第22-23页
·晶圆搬运机器人的动力学方程	第23-27页
·本章小结	第27-28页
第3章 机器人控制系统设计	第28-40页
·控制系统的结构	第28-31页
·机器人控制系统的设计原则	第28-29页
·机器人控制系统的设计要求	第29页
·机器人控制系统的选择	第29-31页
·控制系统的硬件设施及电机型号	第31-33页
·电机性能调试	第33-35页
·晶圆搬运机器人各轴性能测试	第35-38页
·本章小结	第38-40页
第4章 冗余度机器人轨迹的优化及控制	第40-54页
·引言	第40页
·冗余度机器人的轨迹优化	第40-49页
·冗余度机器人的运动学逆解	第40-42页
·基于任务优先级的晶圆搬运机器人仿真	第42-46页
·避障分析以及仿真	第46-49页
·动力学控制算法	第49-53页
·PD 控制	第49-50页
·计算力矩控制	第50-51页
·PD 控制与计算力矩控制的仿真	第51-53页
·本章小结	第53-54页
第5章 间隙补偿算法与实验结果	第54-60页
·间隙补偿	第54-58页
·间隙补偿的实验	第58-59页
·本章小结	第59-60页
结论	第60-61页
参考文献	第61-65页
致谢	第65页