首页--工业技术论文--自动化技术、计算机技术论文--自动化技术及设备论文--自动化元件、部件论文--发送器(变换器)、传感器论文

半导体金属氧化物纳米材料的制备及气敏性能研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第1章 绪论第12-25页
    1.1 引言第12页
    1.2 气体传感器第12-21页
        1.2.1 气体传感器分类第13页
        1.2.2 几种常见的氧化物半导体气敏材料第13-15页
        1.2.3 氧化物半导体气体传感器性能的影响因素第15-17页
        1.2.4 氧化物半导体气体传感器气敏机理第17-18页
        1.2.5 气体传感器气敏性能参数第18-19页
        1.2.6 金属氧化物半导体气体传感器的发展瓶颈第19-21页
    1.3 纳米半导体气敏材料特性与制备方法第21-23页
        1.3.1 纳米材料特性第21页
        1.3.2 固相法制备纳米材料第21-22页
        1.3.3 液相法制备纳米材料第22-23页
        1.3.4 气相法制备纳米材料第23页
    1.4 选题依据及研究内容第23-25页
第2章 实验药品、设备与研究方法第25-31页
    2.1 实验药品和仪器第25-27页
    2.2 表征方法第27-28页
        2.2.1 扫描电子显微镜(SEM)和能谱仪(EDS)第27页
        2.2.2 透射电子显微镜(TEM)第27页
        2.2.3 X射线衍射分析(XRD)第27页
        2.2.4 X射线光电子能谱(XPS)第27-28页
        2.2.5 热重分析(TGA)第28页
    2.3 气敏元件的制备与气敏测试第28-31页
第3章 海胆状Pd/W_(18)O_(49)气体传感器的制备及其对H_2气体的检第31-45页
    3.1 引言第31-32页
    3.2 实验部分第32-33页
        3.2.1 材料合成第32-33页
    3.3 实验结果和分析第33-42页
        3.3.1 材料表征第33-38页
        3.3.2 海胆状W_(18)O_(49)纳米结构的生长机制第38-39页
        3.3.3 气敏性能测试第39-42页
    3.4 气敏机理分析第42-44页
    3.5 本章小结第44-45页
第4章 Cr掺杂的α-Fe_2O_3气敏材料的制备及其对H_2S气体的检第45-56页
    4.1 引言第45-46页
    4.2 实验部分第46页
        4.2.1 材料合成第46页
    4.3 实验结果和分析第46-54页
        4.3.1 材料表征第46-50页
        4.3.2 气敏性能测试第50-52页
        4.3.3 气敏机理分析第52-54页
    4.4 本章小结第54-56页
第5章 全文总结第56-57页
参考文献第57-65页
致谢第65-66页
硕士期间发表的论文第66页

论文共66页,点击 下载论文
上一篇:基于PDC-SiAlCN陶瓷的无线无源温度传感器的制备及性能研究
下一篇:基于d33模式的压电微加速度计的研究