含多孔硅层的表面覆膜波导光栅传感特性研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第10-12页 |
| 1.2 波导光栅概述 | 第12-14页 |
| 1.2.1 波导光栅基本概念及其分类 | 第12-13页 |
| 1.2.2 波导光栅的应用 | 第13-14页 |
| 1.3 波导光栅传感器的国内外研究现状 | 第14-16页 |
| 1.4 课题来源及论文主要工作 | 第16-18页 |
| 第2章 波导光栅基础理论研究 | 第18-33页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 衍射光栅的基本特性 | 第18-19页 |
| 2.3 平板介质波导的光学特性 | 第19-20页 |
| 2.4 光栅衍射的理论计算方法 | 第20-32页 |
| 2.4.1 严格耦合波计算法 | 第21-27页 |
| 2.4.2 有限元计算法 | 第27-31页 |
| 2.4.3 等效介质理论 | 第31-32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 波导光栅共振及光谱特性分析 | 第33-41页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 波导光栅共振原理 | 第33-34页 |
| 3.3 波导光栅共振的等效波导模型 | 第34-36页 |
| 3.3.1 单层等效波导模型 | 第34-35页 |
| 3.3.2 多层等效波导模型 | 第35-36页 |
| 3.4 波导光栅共振光谱特性分析 | 第36-40页 |
| 3.4.1 光栅参数对共振光谱的影响 | 第37-38页 |
| 3.4.2 波导参数对共振光谱的影响 | 第38-39页 |
| 3.4.3 基底和包覆层参数对共振光谱的影响 | 第39页 |
| 3.4.4 入射角度对共振光谱的影响 | 第39-40页 |
| 3.5 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 含多孔硅层的波导光栅传感特性研究 | 第41-51页 |
| 4.1 引言 | 第41页 |
| 4.2 多孔硅材料概述 | 第41-43页 |
| 4.2.1 多孔硅简介 | 第41-42页 |
| 4.2.2 多孔硅形成机理和制备方法 | 第42-43页 |
| 4.2.3 多孔硅光学传感机理 | 第43页 |
| 4.3 含多孔硅层的波导光栅传感结构的提出 | 第43-44页 |
| 4.4 含多孔硅层的波导光栅传感机理分析 | 第44-46页 |
| 4.5 波导光栅材料的参数选择 | 第46-47页 |
| 4.6 含多孔硅层的波导光栅传感特性研究 | 第47-50页 |
| 4.6.1 传感器q值特性研究 | 第47-48页 |
| 4.6.2 传感器灵敏度特性研究 | 第48-49页 |
| 4.6.3 传感器对葡萄糖溶液的响应特性研究 | 第49-50页 |
| 4.7 本章小结 | 第50-51页 |
| 第5章 表面覆膜波导光栅传感特性研究 | 第51-61页 |
| 5.1 引言 | 第51页 |
| 5.2 表面覆膜波导光栅传感结构的提出 | 第51-52页 |
| 5.3 表面覆膜波导光栅传感机理分析 | 第52-53页 |
| 5.4 覆膜材料的参数选择 | 第53-54页 |
| 5.5 表面覆膜波导光栅传感特性研究 | 第54-58页 |
| 5.5.1 传感器q值特性研究 | 第54-55页 |
| 5.5.2 传感器灵敏度特性研究 | 第55-56页 |
| 5.5.3 传感器对葡萄糖溶液的响应特性研究 | 第56-58页 |
| 5.6 覆膜前后波导光栅传感器的性能对比分析 | 第58-59页 |
| 5.7 本章小结 | 第59-61页 |
| 结论 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-69页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
