| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第13-41页 |
| 1.1 引言 | 第13-14页 |
| 1.2 本征非晶碳膜的结构与性能 | 第14-21页 |
| 1.2.1 本征非晶碳膜的结构 | 第14-16页 |
| 1.2.2 本征非晶碳膜的沉积机理 | 第16-17页 |
| 1.2.3 本征非晶碳膜的机械及摩擦性能 | 第17-18页 |
| 1.2.4 本征非晶碳膜的电化学性能 | 第18-19页 |
| 1.2.5 本征非晶碳膜的生物学性能 | 第19页 |
| 1.2.6 本征非晶碳膜的缺点 | 第19-21页 |
| 1.3 非晶碳膜的制备方法 | 第21-29页 |
| 1.3.1 化学气相沉积(CVD) | 第21页 |
| 1.3.2 物理气相沉积(PVD) | 第21-28页 |
| 1.3.3 液相法电化学沉积(Liquid electrodeposition) | 第28-29页 |
| 1.4 本征非晶碳膜的改性 | 第29-38页 |
| 1.4.1 夹层设计 | 第29-30页 |
| 1.4.2 功能梯度层设计 | 第30-31页 |
| 1.4.3 热处理 | 第31-32页 |
| 1.4.4 元素掺杂 | 第32-34页 |
| 1.4.5 纳米多层膜 | 第34-38页 |
| 1.5 本文选题依据及主要研究内容 | 第38-41页 |
| 第二章 实验方法 | 第41-57页 |
| 2.1 基体处理 | 第41页 |
| 2.1.1 基体准备 | 第41页 |
| 2.1.2 基体清洗 | 第41页 |
| 2.2 薄膜制备 | 第41-43页 |
| 2.2.1 磁控溅射设备 | 第41-42页 |
| 2.2.2 磁控溅射镀膜过程 | 第42-43页 |
| 2.3 薄膜的组织结构分析 | 第43-45页 |
| 2.3.1 X射线衍射仪分析(XRD) | 第43页 |
| 2.3.2 扫描电子显微分析(SEM) | 第43页 |
| 2.3.3 透射电子显微分析(TEM) | 第43-44页 |
| 2.3.4 原子力显微镜分析(AFM) | 第44页 |
| 2.3.5 X射线光电子能谱分析(XPS) | 第44页 |
| 2.3.6 拉曼光谱分析(Raman) | 第44页 |
| 2.3.7 台阶仪分析(Stylus Profilometer) | 第44-45页 |
| 2.4 薄膜力学、摩擦学、电化学及腐蚀摩擦学性能分析 | 第45-47页 |
| 2.4.1 内应力分析 | 第45页 |
| 2.4.2 纳米压痕 | 第45页 |
| 2.4.3 结合力测试 | 第45-46页 |
| 2.4.4 接触角测试 | 第46页 |
| 2.4.5 维氏硬度压坑测试 | 第46页 |
| 2.4.6 摩擦磨损测试 | 第46-47页 |
| 2.4.7 电化学测试 | 第47页 |
| 2.4.8 腐蚀摩擦测试 | 第47页 |
| 2.5 薄膜的生物学分析 | 第47-57页 |
| 2.5.1 样品及浸提液的准备 | 第47-48页 |
| 2.5.2 细胞活性测试 | 第48页 |
| 2.5.3 鼠伤寒沙门氏杆菌回复突变试验 | 第48-49页 |
| 2.5.4 染色体畸变试验 | 第49-50页 |
| 2.5.5 体外哺乳动物细胞TK基因突变试验 | 第50-51页 |
| 2.5.6 迟发型超敏反应 | 第51-52页 |
| 2.5.7 急性全身毒性试验 | 第52-53页 |
| 2.5.8 亚慢性全身毒性试验 | 第53页 |
| 2.5.9 骨植入试验 | 第53-54页 |
| 2.5.10 细胞形态 | 第54页 |
| 2.5.11 荧光显微镜分析 | 第54-55页 |
| 2.5.12 统计学方法 | 第55-57页 |
| 第三章 纳米结构非晶碳基薄膜 | 第57-67页 |
| 3.1 引言 | 第57页 |
| 3.2 纳米结构非晶碳基薄膜的制备 | 第57-58页 |
| 3.3 纳米结构非晶碳基薄膜的形貌及组织结构 | 第58-60页 |
| 3.4 纳米结构非晶碳基薄膜的机械及摩擦性能 | 第60-64页 |
| 3.5 纳米结构非晶碳基薄膜的电化学腐蚀性能 | 第64-65页 |
| 3.6 本章小结 | 第65-67页 |
| 第四章 a-C:TM/a-C纳米多层膜的微观结构与性能 | 第67-107页 |
| 4.1 引言 | 第67-68页 |
| 4.2 TM掺杂量对a-C:TM/a-C纳米多层膜结构和性能的影响 | 第68-77页 |
| 4.2.1 不同Ti掺杂量a-C:Ti/a-C纳米多层膜的形貌和组织结构 | 第68-73页 |
| 4.2.2 不同Ti掺杂量a-C:Ti/a-C纳米多层膜的机械及摩擦性能 | 第73-77页 |
| 4.3 偏压及薄膜厚度对a-C:TM/a-C纳米多层膜结构和性能的影响 | 第77-89页 |
| 4.3.1 不同偏压及膜厚的a-C:Ta/a-C纳米多层膜的形貌和组织结构 | 第78-82页 |
| 4.3.2 不同偏压及膜厚的a-C:Ta/a-C纳米多层膜的机械及摩擦性能 | 第82-87页 |
| 4.3.3 不同偏压及膜厚的a-C:Ta/a-C纳米多层膜的电化学性能 | 第87-89页 |
| 4.4 占空比对a-C:TM/a-C纳米多层膜结构和性能的影响 | 第89-92页 |
| 4.4.1 不同占空比的a-C:Ti/a-C纳米多层膜的形貌和组织结构 | 第89-90页 |
| 4.4.2 不同占空比的a-C:Ti/a-C纳米多层膜的机械及摩擦性能 | 第90-92页 |
| 4.5 a-C:TM/a-C纳米多层膜腐蚀摩擦性能的探究 | 第92-105页 |
| 4.5.1 a-C:TM/a-C纳米多层膜的形貌和组织结构 | 第93-97页 |
| 4.5.2 a-C:TM/a-C纳米多层膜的机械性能 | 第97-98页 |
| 4.5.3 a-C:TM/a-C纳米多层膜的腐蚀摩擦性能 | 第98-105页 |
| 4.6 本章小结 | 第105-107页 |
| 第五章 ZrN/Zr/a-C纳米多层膜的组织结构与性能 | 第107-127页 |
| 5.1 引言 | 第107页 |
| 5.2 ZrN/Zr/a-C纳米多层的制备方法 | 第107-108页 |
| 5.3 ZrN/Zr/a-C纳米多层膜 | 第108-118页 |
| 5.3.1 ZrN/Zr/a-C纳米多层膜的形貌和组织结构 | 第108-113页 |
| 5.3.2 ZrN/Zr/a-C纳米多层膜的机械及摩擦性能 | 第113-116页 |
| 5.3.4 ZrN/Zr/a-C纳米多层膜的电化学性能 | 第116-118页 |
| 5.4 a-C-ZrN/Zr/a-C纳米多层膜 | 第118-126页 |
| 5.4.1 a-C-ZrN/Zr/a-C纳米多层膜的组织结构及形貌 | 第118-121页 |
| 5.4.2 a-C-ZrN/Zr/a-C纳米多层膜的机械及摩擦性能 | 第121-126页 |
| 5.5 本章小结 | 第126-127页 |
| 第六章 非晶碳基纳米多层膜的生物学评价 | 第127-139页 |
| 6.1 引言 | 第127页 |
| 6.2 a-C:TM/a-C纳米多层膜生物学评价 | 第127-134页 |
| 6.2.1 细胞毒性试验 | 第127-128页 |
| 6.2.2 鼠伤寒沙门氏杆菌回复突变实验 | 第128-129页 |
| 6.2.3 染色体畸变试验 | 第129页 |
| 6.2.4 体外哺乳动物细胞TK基因突变试验 | 第129-130页 |
| 6.2.5 急性全身毒性 | 第130-131页 |
| 6.2.6 亚慢性全身毒性 | 第131-132页 |
| 6.2.7 骨植入实验 | 第132-134页 |
| 6.3 a-C-ZrN/Zr/a-C纳米多层膜生物学评价 | 第134-137页 |
| 6.3.1 细胞活性试验 | 第134-135页 |
| 6.3.2 细胞形态 | 第135页 |
| 6.3.3 细胞Live/Dead分析 | 第135-136页 |
| 6.3.4 迟发型超敏反应 | 第136-137页 |
| 6.4 本章小结 | 第137-139页 |
| 第七章 结论与展望 | 第139-142页 |
| 7.1 结论 | 第139-140页 |
| 7.2 本论文创新点 | 第140-141页 |
| 7.3 展望 | 第141-142页 |
| 参考文献 | 第142-160页 |
| 致谢 | 第160-161页 |
| 个人简历 | 第161-162页 |
| 攻读学位期间获得的成果 | 第162-164页 |
