膜状聚合物静电放电抑制器防护机理与性能研究
| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-15页 |
| 1.2.1 ESD防护机理研究 | 第11-12页 |
| 1.2.2 ESD防护结构设计与制备 | 第12-13页 |
| 1.2.3 ESD防护性能测试与评估 | 第13-15页 |
| 1.3 研究目的和主要内容 | 第15-17页 |
| 第二章 膜状聚合物ESD抑制器防护机理研究 | 第17-30页 |
| 2.1 膜状聚合物ESD抑制器的导电机理 | 第17-26页 |
| 2.1.1 微观结构与导电机理 | 第17-19页 |
| 2.2.2 非平衡载流子的产生 | 第19-21页 |
| 2.2.3 非平衡载流子的复合 | 第21-22页 |
| 2.2.4 载流子输运规律 | 第22-26页 |
| 2.2 膜状聚合物ESD抑制器的工作原理 | 第26-27页 |
| 2.3 膜状聚合物ESD抑制器防护性能参数 | 第27-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-30页 |
| 第三章 膜状聚合物ESD抑制器防护性能测试方法 | 第30-39页 |
| 3.1 ESD模型 | 第30-34页 |
| 3.2 典型脉冲源时频特性 | 第34-36页 |
| 3.3 ESD防护性能测试方法 | 第36-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-39页 |
| 第四章 膜状聚合物ESD抑制器防护性能实验研究 | 第39-55页 |
| 4.1 测试内容 | 第39页 |
| 4.2 实验平台与测试方法 | 第39-42页 |
| 4.3 测试过程及结果讨论 | 第42-54页 |
| 4.3.1 器件的静态电学参数 | 第42-43页 |
| 4.3.2 器件对注入电压的响应 | 第43-44页 |
| 4.3.3 触发电压与厚度的关系 | 第44-45页 |
| 4.3.4 峰值电压与注入电压的关系 | 第45-46页 |
| 4.3.5 箝位电压与注入电压的关系 | 第46-48页 |
| 4.3.6 箝位时间与注入电压的关系 | 第48-49页 |
| 4.3.7 简化PSPICE模型 | 第49-52页 |
| 4.3.8 实验结果分析 | 第52-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 全文总结与展望 | 第55-57页 |
| 5.1 全文总结 | 第55-56页 |
| 5.2 工作展望 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 作者在攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第61页 |
