| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-20页 |
| ·提拉法晶体生长简介 | 第10-11页 |
| ·晶体直径控制原理 | 第11-18页 |
| ·晶体生长系统的热平衡 | 第11-13页 |
| ·直拉法晶体生长的几个重要参数 | 第13-18页 |
| ·预测模型控制的提出 | 第18页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第18-20页 |
| 2 晶体生长模型 | 第20-26页 |
| ·晶体半径的影响因素 | 第20-22页 |
| ·晶体半径的响应方程 | 第22-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 3 等径控制的原理与方法 | 第26-34页 |
| ·单晶炉控制系统结构 | 第28-29页 |
| ·晶体生长的传统控制方法 | 第29-31页 |
| ·加热器串级控制系统 | 第30-31页 |
| ·提拉速度前馈跟踪技术 | 第31页 |
| ·常规系统PID控制算法 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-34页 |
| 4 等径控制系统模型的辨识 | 第34-42页 |
| ·等径控制系统预测模型获取 | 第34-37页 |
| ·系统非参数模型 | 第34-35页 |
| ·系统参数模型 | 第35-37页 |
| ·控制模型结构辨识 | 第37-38页 |
| ·利用行列式估计模型阶次原理 | 第37页 |
| ·利用Akaike准则估计模型阶次原理 | 第37-38页 |
| ·控制模型参数辨识 | 第38-41页 |
| ·递推最小二乘原理及辨识结果 | 第38-39页 |
| ·随机逼近法原理及辨识结果 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 5 基于等径控制系统模型的预测控制研究与仿真 | 第42-56页 |
| ·预测控制的研究方法 | 第42页 |
| ·动态矩阵控制 | 第42-48页 |
| ·预测模型 | 第43-44页 |
| ·滚动优化 | 第44页 |
| ·反馈校正 | 第44-45页 |
| ·仿真结果 | 第45-48页 |
| ·广义预测控制 | 第48-55页 |
| ·广义预测控制的基本原理 | 第48-49页 |
| ·Diophantine方程的递推求解及程序流程图 | 第49页 |
| ·仿真结果 | 第49-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 6 结论与展望 | 第56-58页 |
| ·总结 | 第56页 |
| ·展望 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-61页 |