| 摘要 | 第5-8页 |
| abstract | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第14-33页 |
| 1.1 引言 | 第14-15页 |
| 1.2 色谱法的分类 | 第15-17页 |
| 1.2.1 按流动相和固定相的物态分类 | 第15页 |
| 1.2.2 按分离的原理分类 | 第15-16页 |
| 1.2.3 按固定相使用的方式分类 | 第16页 |
| 1.2.4 按色谱动力学过程分类 | 第16-17页 |
| 1.2.5 按色谱技术分类 | 第17页 |
| 1.3 气相色谱柱的类型 | 第17-20页 |
| 1.3.1 填充柱 | 第18页 |
| 1.3.2 毛细管色谱柱 | 第18-20页 |
| 1.4 微型气相色谱柱的发展 | 第20-31页 |
| 1.4.1 微型气相色谱柱基本结构 | 第20-21页 |
| 1.4.2 微型气相色谱柱的制备 | 第21-28页 |
| 1.4.3 微型色谱柱固定相涂敷 | 第28-29页 |
| 1.4.4 微型气相色谱系统 | 第29-31页 |
| 1.5 论文的选题及主要研究工作 | 第31-33页 |
| 第二章 气相色谱柱理论分析研究 | 第33-44页 |
| 2.1 平衡理论 | 第33-36页 |
| 2.1.1 分配系数 | 第34页 |
| 2.1.2 分配比 | 第34-36页 |
| 2.2 塔板理论 | 第36-39页 |
| 2.2.1 塔板理论假说 | 第36-38页 |
| 2.2.2 基本关系式 | 第38-39页 |
| 2.3 速率理论 | 第39-42页 |
| 2.3.1 Van Deemter方程 | 第39-42页 |
| 2.4 分离度 | 第42-43页 |
| 2.5 本章小结 | 第43-44页 |
| 第三章 微型气相色谱柱结构设计及制备研究 | 第44-68页 |
| 3.1 MEMS气相色谱柱制作流程 | 第44-45页 |
| 3.2 微型气相色谱柱结构设计 | 第45-46页 |
| 3.3 微型色谱柱制备中光刻技术运用 | 第46-50页 |
| 3.3.1 光刻工作原理 | 第47页 |
| 3.3.2 光刻技术的光学原理 | 第47-48页 |
| 3.3.3 光刻胶 | 第48-49页 |
| 3.3.4 微型色谱柱的光刻工艺流程 | 第49-50页 |
| 3.4 微型色谱柱制备中电子束蒸发金属掩膜 | 第50-53页 |
| 3.4.1 电子束蒸发工作原理 | 第50-51页 |
| 3.4.2 电子束蒸发沉积速率 | 第51-53页 |
| 3.5 微型色谱柱制备中干法刻蚀的应用 | 第53-56页 |
| 3.5.1 反应离子刻蚀(RIE)及反应离子深刻蚀(DRIE) | 第53-54页 |
| 3.5.2 微型色谱柱深槽刻蚀 | 第54-56页 |
| 3.6 硅玻阳极键合 | 第56-57页 |
| 3.7 微型单道色谱柱 | 第57-59页 |
| 3.7.1 单道开管柱的结构设计 | 第57-58页 |
| 3.7.2 微型色谱柱的理论分析 | 第58-59页 |
| 3.8 微型多道色谱柱 | 第59-62页 |
| 3.8.1 微型多道色谱柱的理论分析 | 第59-60页 |
| 3.8.2 微型多道色谱柱的结构设计 | 第60-61页 |
| 3.8.3 微型多道柱入.设计 | 第61-62页 |
| 3.9 微型半填充色谱柱 | 第62-65页 |
| 3.9.1 微型半填充柱理论分析 | 第62-64页 |
| 3.9.2 微型半填充柱的结构设计 | 第64-65页 |
| 3.10 微型色谱柱的密封及转接 | 第65-66页 |
| 3.10.1 密封胶 | 第65页 |
| 3.10.2 转接头 | 第65-66页 |
| 3.11 本章小结 | 第66-68页 |
| 第四章 微型气相色谱柱涂覆研究 | 第68-82页 |
| 4.1 固定相选择 | 第68页 |
| 4.2 固定液与组份间的作用力 | 第68-69页 |
| 4.3 固定相极性性质 | 第69-71页 |
| 4.4 固定液的选择方法及种类 | 第71-72页 |
| 4.5 固定相涂覆 | 第72-75页 |
| 4.5.1 固定相的涂敷工艺前处理 | 第72-74页 |
| 4.5.2 固定相涂敷 | 第74-75页 |
| 4.5.3 固定相交联 | 第75页 |
| 4.6 三种固定的涂敷过程 | 第75-78页 |
| 4.6.1 OV-1 涂敷过程 | 第75-77页 |
| 4.6.2 SE-54涂敷过程 | 第77-78页 |
| 4.6.3 OV-1701涂敷过程 | 第78页 |
| 4.7 固定相膜厚对柱效的影响 | 第78-80页 |
| 4.8 本章小结 | 第80-82页 |
| 第五章 微型气相色谱柱的测试及分析 | 第82-105页 |
| 5.1 气相色谱系统 | 第82-85页 |
| 5.1.1 色谱系统进样 | 第83-84页 |
| 5.1.2 火焰离子化检测仪 | 第84-85页 |
| 5.2 微型色谱柱的测试分析 | 第85-100页 |
| 5.2.1 微型单道色谱柱测试 | 第85-88页 |
| 5.2.2 微型多道色谱柱柱测试 | 第88-96页 |
| 5.2.3 微型多道色谱柱柱测试 | 第96-99页 |
| 5.2.4 微型多道半填充色谱柱柱测试 | 第99页 |
| 5.2.5 二维微型气相色谱柱 | 第99-100页 |
| 5.3 微型色谱柱的重现性测试分析 | 第100-101页 |
| 5.4 分析测试的影响因素 | 第101-103页 |
| 5.4.1 温度 | 第101-102页 |
| 5.4.2 浓度 | 第102-103页 |
| 5.5 本章小结 | 第103-105页 |
| 第六章 结论 | 第105-109页 |
| 6.1 本文的主要贡献 | 第105-107页 |
| 6.2 下一步工作的展望 | 第107-109页 |
| 致谢 | 第109-110页 |
| 参考文献 | 第110-122页 |
| 攻博期间取得的研究成果 | 第122-123页 |