| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 研究的目的与意义 | 第9-10页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第10-15页 |
| 1.3.1 国外研究现状 | 第10-14页 |
| 1.3.2 国内研究现状 | 第14-15页 |
| 1.4 本文研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 毛发流速微传感器的基本理论 | 第17-29页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 生物体的毛发结构及其理论模型 | 第17-19页 |
| 2.2.1 蟋蟀尾须机械模型 | 第17-18页 |
| 2.2.2 蟋蟀尾须空气动力学模型 | 第18-19页 |
| 2.3 谐振器工作机理 | 第19-23页 |
| 2.3.1 谐振现象 | 第19-21页 |
| 2.3.2 双端固定音叉工作原理 | 第21-23页 |
| 2.4 静电驱动和电容检测机理 | 第23-26页 |
| 2.4.1 梳齿电容基础 | 第24页 |
| 2.4.2 静电驱动 | 第24-25页 |
| 2.4.3 电容检测 | 第25-26页 |
| 2.5 微杠杆工作理论 | 第26-28页 |
| 2.6 本章小节 | 第28-29页 |
| 第三章 毛发流速微传感器结构设计及分析 | 第29-51页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 毛发流速微传感器整体结构及工作原理 | 第29-31页 |
| 3.3 新型不对称旋转力放大机构设计与分析 | 第31-42页 |
| 3.3.1 传感器弹性梁分析 | 第32-35页 |
| 3.3.2 摆动抑制梁对检测运动的优化 | 第35-38页 |
| 3.3.3 弹性梁设计参数对放大系数影响的仿真分析 | 第38-42页 |
| 3.4 二级微杠杆力放大机构设计与分析 | 第42-47页 |
| 3.5 双端固定音叉谐振器及其驱动与检测机构设计 | 第47-50页 |
| 3.5.1 驱动机构的设计 | 第48-49页 |
| 3.5.2 检测机构的设计 | 第49页 |
| 3.5.3 双端固定音叉谐振器参数仿真 | 第49-50页 |
| 3.6 本章小节 | 第50-51页 |
| 第四章 毛发流速微传感器整体结构有限元仿真及误差分析 | 第51-66页 |
| 4.1 引言 | 第51页 |
| 4.2 模态仿真 | 第51-54页 |
| 4.3 热应力仿真 | 第54-56页 |
| 4.4 瞬态冲击仿真 | 第56-58页 |
| 4.5 传感器性能仿真 | 第58-60页 |
| 4.6 毛发结构分析 | 第60-64页 |
| 4.6.1 毛发几何尺寸分析 | 第60-61页 |
| 4.6.2 毛发粘合位置分析 | 第61-62页 |
| 4.6.3 毛发形状分析 | 第62-64页 |
| 4.7 加速度响应分析 | 第64-65页 |
| 4.8 本章小节 | 第65-66页 |
| 第五章 毛发流速微传感器的制作与测试 | 第66-72页 |
| 5.1 引言 | 第66页 |
| 5.2 毛发流速微传感器的加工 | 第66-67页 |
| 5.3 毛发流速微传感器的组装 | 第67-68页 |
| 5.4 毛发流速微传感器的性能 | 第68-71页 |
| 5.4.1 驱动模态振动特性测试 | 第69-70页 |
| 5.4.2 流速响应特性测试 | 第70-71页 |
| 5.5 本章小节 | 第71-72页 |
| 第六章 总结与展望 | 第72-74页 |
| 6.1 总结 | 第72页 |
| 6.2 展望 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-77页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第77页 |
| 发表论文 | 第77页 |
| 申请专利 | 第77页 |