| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| ·变形反射镜研究的现实背景和意义 | 第10-13页 |
| ·变形反射镜驱动器的国内外研究状况 | 第13-14页 |
| ·本文的课题来源及研究内容及技术指标 | 第14-15页 |
| ·本章小结 | 第15-16页 |
| 第二章 变形反射镜驱动材料的物理特性及模型分析 | 第16-25页 |
| ·变形反射镜驱动器主要构成部分 | 第16-17页 |
| ·驱动材料（压电陶瓷）的基本驱动原理及特性 | 第17-21页 |
| ·驱动材料（压电陶瓷PZT）的基本材料特性 | 第17-18页 |
| ·基于压电陶瓷的叠层驱动器简述 | 第18-19页 |
| ·压电陶瓷的其他材料特性（迟滞，非线性，蠕变） | 第19-21页 |
| ·压电陶瓷驱动技术的分类和各自特点 | 第21-24页 |
| ·电压型驱动电源介绍 | 第22-23页 |
| ·电荷（电流）型驱动电源介绍 | 第23页 |
| ·带反馈的高精密驱动电源介绍 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 DDS 原理与控制算法分析 | 第25-35页 |
| ·DDS 的原理简介 | 第25-28页 |
| ·基于相位累加器的DDS 的介绍 | 第26-28页 |
| ·DDS 技术与传统波形信号发生器的比较 | 第28页 |
| ·PZT 闭环驱动的智能控制算法初探 | 第28-34页 |
| ·普通PID 算法简介 | 第29-31页 |
| ·增量式PID 算法原理 | 第31页 |
| ·模糊控制理论 | 第31-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第四章 变形反射镜驱动控制电路硬件设计 | 第35-56页 |
| ·变形反射镜驱动控制电路原理及方法概述 | 第35-36页 |
| ·电源系统管理 | 第36-40页 |
| ·AC 滤波及高压整流电路 | 第37-38页 |
| ·基于开关电源的低压电源系统电路 | 第38-40页 |
| ·DSP 及其外围电路 | 第40-42页 |
| ·多路复用逻辑控制电路 | 第42页 |
| ·DAC 及波形信号调理电路 | 第42-47页 |
| ·TLV5619 的内部结构及特性 | 第43-44页 |
| ·TLV5619 与dsPIC30F5011 的接口设计 | 第44-46页 |
| ·DAC 参考电压的设计 | 第46页 |
| ·信号调理部分电路设计 | 第46-47页 |
| ·基于PA94 的双高压放大电路设计 | 第47-52页 |
| ·双PA94 电路的实现 | 第49页 |
| ·压电陶瓷驱动电源的硬件仿真 | 第49-51页 |
| ·限流电阻的选择 | 第51页 |
| ·外部补偿电路 | 第51-52页 |
| ·人机界面及数据通讯部分 | 第52-53页 |
| ·人机交互界面电路 | 第52页 |
| ·与上位机的数据通讯电路 | 第52-53页 |
| ·硬件抗干扰措施 | 第53-55页 |
| ·电磁干扰对系统的影响 | 第53-54页 |
| ·抑制电磁干扰的硬件措施 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 变形反射镜驱动控制电路软件系统设计 | 第56-66页 |
| ·MPLAB 开发环境介绍及芯片初始化 | 第56-58页 |
| ·MPLAB 开发环境介绍 | 第56-57页 |
| ·DSP 各项模块初始化 | 第57-58页 |
| ·开环控制波形输出程序设计 | 第58-63页 |
| ·波形数据的获取 | 第59-60页 |
| ·波形数据的输出 | 第60-62页 |
| ·波形输出子程序代码 | 第62-63页 |
| ·闭环系统模糊自适应PID 控制器设计 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第六章 压电陶瓷驱动电源的实验结果与分析 | 第66-70页 |
| ·驱动控制系统的电源精度测试 | 第66-67页 |
| ·开环驱动下的系统性能测试 | 第67-68页 |
| ·闭环驱动下的动态性能测试 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第七章 总结与展望 | 第70-72页 |
| ·总结 | 第70页 |
| ·课题的展望 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |
| 攻读硕士期间取得的研究成果 | 第76-77页 |
| 附录 | 第77-84页 |