基于SOI技术的MEMS惯性加速度计的设计与优化
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·选题依据 | 第11-13页 |
| ·研究目的和意义 | 第13-14页 |
| ·本文主要研究内容 | 第14-17页 |
| 第二章 MEMS 惯性加速度计的总体设计及研究 | 第17-38页 |
| ·MEMS 惯性加速度计国内外研究现状 | 第17-29页 |
| ·微机电系统技术的发展趋势研究 | 第17-19页 |
| ·微惯性加速度计的国内外发展状况 | 第19-24页 |
| ·MEMS 加工工艺发展现状研究 | 第24-29页 |
| ·MEMS 惯性加速度计基本原理 | 第29-30页 |
| ·MEMS 惯性加速度计的分类与选择 | 第30-37页 |
| ·MEMS 惯性加速度计的类型 | 第30-34页 |
| ·MEMS 惯性加速度计结构形式的选择 | 第34-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 MEMS 电容式加速度计结构设计及优化 | 第38-54页 |
| ·梳齿式微加速度计基本原理 | 第38-39页 |
| ·梳齿式微加速度计结构理论分析 | 第39-44页 |
| ·开环状态 | 第40-41页 |
| ·闭环状态 | 第41-43页 |
| ·阻尼系数和热噪声 | 第43-44页 |
| ·弹性梁结构设计 | 第44-46页 |
| ·敏感元件结构设计及优化 | 第46-53页 |
| ·设计基本准则 | 第46-47页 |
| ·敏感元件结构设计 | 第47-50页 |
| ·微加速度计结构优化 | 第50-53页 |
| ·弹性梁结构优化 | 第50-51页 |
| ·微加速度计结构 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 MEMS 电容式加速度计结构仿真及优化 | 第54-71页 |
| ·有限元法概述 | 第54-57页 |
| ·微加速度计结构系统级模型 | 第57-62页 |
| ·微加速度计结构静力分析 | 第62-65页 |
| ·抗冲击能力分析 | 第62-64页 |
| ·线性度分析 | 第64-65页 |
| ·模态分析及仿真验证 | 第65-68页 |
| ·U 型梁结构参数对微加速度计表头影响 | 第68-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第五章 MEMS 电容式加速度计电学仿真 | 第71-84页 |
| ·电学仿真方法（SPICE）概述 | 第71-72页 |
| ·微加速度计力学特性等效电学模型 | 第72-74页 |
| ·微加速度计差动电容等效电学模型 | 第74-76页 |
| ·微加速度计等效电学模型及模型仿真 | 第76-82页 |
| ·阶跃信号响应 | 第77-80页 |
| ·正弦信号响应 | 第80-82页 |
| ·本章小节 | 第82-84页 |
| 第六章 MEMS 电容式加速度计加工工艺研究 | 第84-90页 |
| ·SOI 材料制备加工技术 | 第84-86页 |
| ·微加速度计器件加工工艺 | 第86-89页 |
| ·本章小结 | 第89-90页 |
| 第七章 结论及展望 | 第90-93页 |
| ·结论 | 第90-91页 |
| ·工作展望 | 第91-93页 |
| 致谢 | 第93-94页 |
| 参考文献 | 第94-99页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第99-100页 |
