| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第13-32页 |
| 1.1 研究工作的背景与意义 | 第13-17页 |
| 1.1.1 固体激光装置的负载能力 | 第13-14页 |
| 1.1.2 熔石英元件的损伤 | 第14-16页 |
| 1.1.3 熔石英元件的修复 | 第16-17页 |
| 1.2 CO_2激光修复熔石英缺陷和损伤的实验研究进展 | 第17-26页 |
| 1.2.1 CO_2激光修复的分类与效果 | 第18-21页 |
| 1.2.2 CO_2激光修复过程中的负面现象及缓解途径 | 第21-24页 |
| 1.2.3 CO_2激光修复效果的考核 | 第24-26页 |
| 1.3 CO_2激光辐照熔石英材料的理论研究现状 | 第26-29页 |
| 1.4 本文的主要贡献与创新 | 第29-30页 |
| 1.5 本文的主要研究内容 | 第30-32页 |
| 第二章 CO_2激光辐照熔石英材料的机理分析 | 第32-46页 |
| 2.1 激光辐照效应概述 | 第32-35页 |
| 2.1.1 激光能量的吸收和转化 | 第32-33页 |
| 2.1.2 激光辐照效应的物理模型 | 第33-35页 |
| 2.2 数值分析方法概述 | 第35-38页 |
| 2.2.1 数值分析的计算流程 | 第36-37页 |
| 2.2.2 数值分析的求解方法 | 第37-38页 |
| 2.3 有限元数值方法简介 | 第38-40页 |
| 2.3.1 网格划分 | 第38页 |
| 2.3.2 加权余量法 | 第38-39页 |
| 2.3.3 变分法 | 第39-40页 |
| 2.4 CO_2激光辐照熔石英材料的有限元数值分析 | 第40-45页 |
| 2.4.1 温度场的计算 | 第40-41页 |
| 2.4.2 热应力的计算 | 第41-44页 |
| 2.4.3 熔融流动的计算 | 第44-45页 |
| 2.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 第三章 温度分布与CO_2激光修复尺寸 | 第46-61页 |
| 3.1 建立热分析理论模型 | 第46-49页 |
| 3.1.1 物理模型 | 第47-48页 |
| 3.1.2 有限元算法分析 | 第48-49页 |
| 3.2 连续激光辐照的热分析 | 第49-51页 |
| 3.3 脉冲激光辐照的温度分布与熔融修复尺寸 | 第51-59页 |
| 3.3.1 蒸发和熔融修复轮廓 | 第51-53页 |
| 3.3.2 脉冲激光参数对修复尺寸的影响 | 第53-59页 |
| 3.4 本章小结 | 第59-61页 |
| 第四章 残余应力分布与高温去应力退火 | 第61-78页 |
| 4.1 建立应力分析理论模型 | 第61-63页 |
| 4.1.1 物理模型 | 第62页 |
| 4.1.2 有限元算法分析 | 第62-63页 |
| 4.2 残余应力分布 | 第63-72页 |
| 4.2.1 热应力的演化与分布 | 第63-65页 |
| 4.2.2 激光参数对残余应力的影响 | 第65-72页 |
| 4.3 高温去应力退火 | 第72-77页 |
| 4.3.1 有限元算法分析 | 第72-73页 |
| 4.3.2 高温去应力效果模拟 | 第73-74页 |
| 4.3.3 大口径元件的高温退火支撑方案 | 第74-77页 |
| 4.4 本章小结 | 第77-78页 |
| 第五章 熔融流动与修复形貌 | 第78-90页 |
| 5.1 建立熔融流动理论模型 | 第78-80页 |
| 5.1.1 物理模型 | 第79页 |
| 5.1.2 有限元算法分析 | 第79-80页 |
| 5.2 熔融流动的驱动力分析 | 第80-83页 |
| 5.3 独特的修复形貌 | 第83-89页 |
| 5.3.1 高斯坑周围环形凸起的形貌特征 | 第83-85页 |
| 5.3.2 激光参数对修复形貌的影响 | 第85-89页 |
| 5.4 本章小结 | 第89-90页 |
| 第六章 损伤修复模型与修复参数优化 | 第90-111页 |
| 6.1 缺陷及损伤的单点修复模型 | 第90-95页 |
| 6.1.1 划痕状损伤的单点修复 | 第90-92页 |
| 6.1.2 麻点状损伤的单点修复 | 第92-94页 |
| 6.1.3 损伤坑的单点修复 | 第94-95页 |
| 6.2 全口径扫描修复模型 | 第95-109页 |
| 6.2.1 高斯圆光斑 | 第96-102页 |
| 6.2.2 矩形线聚集光斑 | 第102-109页 |
| 6.2.3 两种光斑的对比分析 | 第109页 |
| 6.3 本章小结 | 第109-111页 |
| 第七章 总结和展望 | 第111-115页 |
| 7.1 全文总结 | 第111-113页 |
| 7.2 后续工作展望 | 第113-115页 |
| 致谢 | 第115-116页 |
| 参考文献 | 第116-124页 |
| 攻读博士学位期间取得的成果 | 第124-125页 |
