硅微机械陀螺敏感结构的理论研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第17-37页 |
| 1.1 硅微机械陀螺概述 | 第17-18页 |
| 1.2 国内外硅微机械陀螺研究现状 | 第18-26页 |
| 1.2.1 国外硅微机械陀螺研究现状 | 第18-22页 |
| 1.2.2 国内硅微机械陀螺研究现状 | 第22-26页 |
| 1.3 国内外硅微机械陀螺敏感结构理论研究现状 | 第26-32页 |
| 1.3.1 国外敏感结构理论研究现状 | 第27-30页 |
| 1.3.2 国内敏感结构理论研究现状 | 第30-32页 |
| 1.4 硅微机械陀螺敏感结构理论研究现状总结 | 第32-33页 |
| 1.5 论文研究内容 | 第33-34页 |
| 1.6 论文章节安排 | 第34-37页 |
| 2 信号转换机制及敏感结构理论基础 | 第37-49页 |
| 2.1 信号转换机制 | 第37-38页 |
| 2.2 敏感结构支撑系统及低阶模态 | 第38-40页 |
| 2.2.1 敏感结构支撑系统 | 第38-39页 |
| 2.2.2 敏感结构低阶模态 | 第39-40页 |
| 2.3 敏感结构刚度矩阵 | 第40-46页 |
| 2.3.1 驱动梁刚度 | 第40-44页 |
| 2.3.2 仿真验证 | 第44-45页 |
| 2.3.3 敏感结构刚度矩阵 | 第45-46页 |
| 2.4 敏感结构品质因数 | 第46-47页 |
| 2.4.1 能量耗散机理 | 第46页 |
| 2.4.2 真空封装 | 第46-47页 |
| 2.5 本章小结 | 第47-49页 |
| 3 多模态固有频率及模态识别 | 第49-67页 |
| 3.1 多模态固有频率 | 第49-59页 |
| 3.1.1 绕Y轴模态 | 第49-51页 |
| 3.1.2 Z轴模态 | 第51-54页 |
| 3.1.3 驱动模态 | 第54-55页 |
| 3.1.4 X轴同向模态 | 第55页 |
| 3.1.5 Y轴同向模态 | 第55-56页 |
| 3.1.6 检测模态 | 第56-57页 |
| 3.1.7 绕Z轴同向模态 | 第57-58页 |
| 3.1.8 绕Z轴相向模态 | 第58-59页 |
| 3.2 仿真验证 | 第59-61页 |
| 3.3 模态识别 | 第61-63页 |
| 3.4 模态定阶 | 第63-65页 |
| 3.4.1 模态设计原则 | 第63-64页 |
| 3.4.2 模态定阶 | 第64-65页 |
| 3.5 本章小结 | 第65-67页 |
| 4 正交误差分析及抑制 | 第67-75页 |
| 4.1 考虑梁宽加工误差的刚度矩阵 | 第67-68页 |
| 4.2 正交耦合系数 | 第68-69页 |
| 4.2.1 直接耦合 | 第68-69页 |
| 4.2.2 二次耦合 | 第69页 |
| 4.3 仿真分析 | 第69-71页 |
| 4.4 正交误差抑制 | 第71-72页 |
| 4.5 实验分析 | 第72-74页 |
| 4.6 本章小结 | 第74-75页 |
| 5 阻尼特性研究 | 第75-97页 |
| 5.1 热弹性阻尼基本概念 | 第75-76页 |
| 5.2 热弹性阻尼理论分析 | 第76-85页 |
| 5.2.1 梁热弹性耦合方程 | 第77-81页 |
| 5.2.2 热弹性耦合方程的解 | 第81-85页 |
| 5.3 仿真验证 | 第85-87页 |
| 5.4 品质因数设计要求 | 第87-89页 |
| 5.5 热弹性阻尼的温度特性 | 第89-93页 |
| 5.5.1 材料温度特性 | 第89-90页 |
| 5.5.2 理论分析 | 第90-92页 |
| 5.5.3 仿真分析 | 第92-93页 |
| 5.6 品质因数实验 | 第93-96页 |
| 5.6.1 常温下品质因数实验 | 第93-94页 |
| 5.6.2 品质因数温度实验 | 第94-96页 |
| 5.7 本章小结 | 第96-97页 |
| 6 敏感结构关键参量验证及整表性能实验 | 第97-107页 |
| 6.1 敏感结构关键参量验证 | 第97-100页 |
| 6.1.1 模态定阶验证 | 第97-99页 |
| 6.1.2 正交误差验证 | 第99-100页 |
| 6.1.3 品质因数验证 | 第100页 |
| 6.2 整表性能实验 | 第100-105页 |
| 6.2.2 零偏稳定性与重复性 | 第103-104页 |
| 6.2.3 标度因数与零偏的温度灵敏度 | 第104-105页 |
| 6.3 本章小结 | 第105-107页 |
| 7 总结与展望 | 第107-111页 |
| 7.1 全文总结 | 第107-108页 |
| 7.2 论文创新点 | 第108-109页 |
| 7.3 后续工作展望 | 第109-111页 |
| 致谢 | 第111-113页 |
| 参考文献 | 第113-121页 |
| 附录A U型梁刚度计算 | 第121-123页 |
| 附录B 热弹性阻尼仿真APDL命令流 | 第123-125页 |
| 附录C | 第125页 |
