基于叉指电极的气体传感器的特性及加工研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 引言 | 第9-16页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第9-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第11-12页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第12-13页 |
| 1.3 气体传感器的主要性能指标 | 第13-14页 |
| 1.4 论文的研究内容及框架结构 | 第14-16页 |
| 第2章 叉指电极传感器的基本原理与参数设计 | 第16-26页 |
| 2.1 基本原理介绍 | 第16-18页 |
| 2.1.1 叉指电极传感器工作原理 | 第16页 |
| 2.1.2 电极结构选择 | 第16-18页 |
| 2.2 叉指电极间电阻模型简化计算 | 第18-24页 |
| 2.2.1 叉指电极间分布电阻的分割计算 | 第18-21页 |
| 2.2.2 忽略端部尖角部分影响的电阻简化计算 | 第21-22页 |
| 2.2.3 两种计算方法的比较 | 第22-24页 |
| 2.3 叉指电极传感器结构参数的影响分析 | 第24-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 叉指电极的加工流程 | 第26-39页 |
| 3.1 叉指电极结构的工艺流程设计 | 第26-29页 |
| 3.1.1 叉指电极基底材料的选择 | 第26-27页 |
| 3.1.2 叉指电极结构的制备工艺流程设计 | 第27-29页 |
| 3.2 叉指电极气体传感器的加工工艺 | 第29-37页 |
| 3.2.1 硅片的清洗 | 第29-30页 |
| 3.2.2 二氧化硅生长 | 第30-31页 |
| 3.2.3 紫外光光刻 | 第31-34页 |
| 3.2.4 煮胶 | 第34-35页 |
| 3.2.5 硅中掺杂 | 第35-36页 |
| 3.2.6 薄膜印刷 | 第36-37页 |
| 3.3 叉指电极结构的表征 | 第37-38页 |
| 3.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 叉指电极气体传感器测试平台的搭建 | 第39-43页 |
| 4.1 实验平台功能要求 | 第39-40页 |
| 4.2 气敏性能测试方法 | 第40-42页 |
| 4.3 本章小结 | 第42-43页 |
| 第5章 叉指电极气体传感器气敏性能 | 第43-55页 |
| 5.1 传感器对含氮污染物气体的气敏特性 | 第43-48页 |
| 5.1.1 引言 | 第43-44页 |
| 5.1.2 叉指电极传感器对氨气的气敏特性 | 第44-46页 |
| 5.1.3 叉指电极传感器对二氧化氮的气敏特性 | 第46-48页 |
| 5.2 传感器对有机污染物气体的气敏特性 | 第48-54页 |
| 5.2.1 引言 | 第48-49页 |
| 5.2.2 叉指电极传感器对甲醛的气敏特性 | 第49-51页 |
| 5.2.3 叉指电极传感器对丙酮的气敏特性 | 第51-54页 |
| 5.3 本章小结 | 第54-55页 |
| 结论 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 攻读学位期间取得学术成果 | 第61页 |
