硅片高效低损伤磨削工艺研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 课题背景 | 第9-10页 |
| 1.2 传统的硅片加工技术 | 第10-13页 |
| 1.2.1 硅的材料特性 | 第10-12页 |
| 1.2.2 硅片加工技术概述 | 第12-13页 |
| 1.3 硅片磨削技术研究现状 | 第13-19页 |
| 1.3.1 硅片高效磨削技术 | 第14-15页 |
| 1.3.2 硅片低损伤磨削技术 | 第15-18页 |
| 1.3.3 硅片机械化学磨削技术 | 第18-19页 |
| 1.4 课题来源与研究内容 | 第19-21页 |
| 1.4.1 课题来源 | 第19页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第19-21页 |
| 2 硅片的金刚石砂轮磨削试验研究 | 第21-33页 |
| 2.1 影响金刚石砂轮磨削质量的参数 | 第21-22页 |
| 2.2 试验条件与检测方法 | 第22-25页 |
| 2.3 磨削参数对表面/亚表面质量的影响 | 第25-30页 |
| 2.3.1 砂轮粒度的影响 | 第25-27页 |
| 2.3.2 砂轮转速的影响 | 第27-28页 |
| 2.3.3 砂轮进给速度的影响 | 第28-29页 |
| 2.3.4 硅片转速的影响 | 第29-30页 |
| 2.4 金刚石砂轮磨削工艺研究 | 第30-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-33页 |
| 3 硅片的软磨料砂轮磨削试验研究 | 第33-50页 |
| 3.1 软磨料砂轮组分研究 | 第33-40页 |
| 3.1.1 结合剂的研究 | 第33-36页 |
| 3.1.2 添加剂的研究 | 第36-40页 |
| 3.2 软磨料砂轮磨削性能研究 | 第40-46页 |
| 3.2.1 软磨料砂轮的制造 | 第40-42页 |
| 3.2.2 试验条件与检测方法 | 第42-43页 |
| 3.2.3 试验结果讨论 | 第43-46页 |
| 3.3 软磨料砂轮磨削参数研究 | 第46-49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 4 硅片高效低损伤磨削工艺集成 | 第50-56页 |
| 4.1 磨削工艺集成方案 | 第50-51页 |
| 4.2 磨削工艺集成试验 | 第51-55页 |
| 4.2.1 试验条件与检测方法 | 第51-53页 |
| 4.2.2 试验结果讨论 | 第53-55页 |
| 4.3 本章小结 | 第55-56页 |
| 结论 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
