| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第9-11页 |
| 1.1.1 一维振动辅助抛光 | 第10页 |
| 1.1.2 二维振动辅助抛光 | 第10-11页 |
| 1.2 致动器的研究现状 | 第11-16页 |
| 1.2.1 压电致动器 | 第11-15页 |
| 1.2.2 磁致伸缩致动器 | 第15-16页 |
| 1.3 本课题研究目的及意义 | 第16页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第16-18页 |
| 2 轨迹可控式磁致伸缩精密微位移致动器结构分析 | 第18-30页 |
| 2.1 材料特性与致动器驱动原理 | 第18-25页 |
| 2.1.1 致动器材料 | 第18-19页 |
| 2.1.2 坡明德合金的材料特性 | 第19-25页 |
| 2.1.3 微位移致动器驱动原理 | 第25页 |
| 2.2 致动器的驱动方法 | 第25-29页 |
| 2.2.1 致动器的结构类型 | 第25-29页 |
| 2.2.2 致动器的驱动方式 | 第29页 |
| 2.3 本章小结 | 第29-30页 |
| 3 轨迹可控式磁致伸缩精密微位移致动器位姿研究 | 第30-46页 |
| 3.1 致动器的结构 | 第30-31页 |
| 3.2 致动器位姿可控实现方法 | 第31-35页 |
| 3.2.1 运动的正交分解 | 第31-32页 |
| 3.2.2 运动轨迹的解析 | 第32-35页 |
| 3.3 致动器驱动磁场研究 | 第35-42页 |
| 3.3.1 致动器的磁场驱动方法 | 第35-36页 |
| 3.3.2 方形螺线管的磁场分析与计算 | 第36-41页 |
| 3.3.3 控制信号与各杆变形量的解析关系 | 第41-42页 |
| 3.4 致动器的控制原理及末端轨迹规划 | 第42-45页 |
| 3.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 4 轨迹可控式磁致伸缩精密微位移致动器的有限元仿真分析 | 第46-51页 |
| 4.1 模态分析 | 第46-48页 |
| 4.2 谐响应分析 | 第48页 |
| 4.3 瞬态动力学分析 | 第48-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 5 轨迹可控式磁致伸缩精密微位移致动器的末端轨迹控制与实现 | 第51-73页 |
| 5.1 实验系统设计 | 第51-53页 |
| 5.2 磁场分布测试 | 第53-56页 |
| 5.2.1 单杆驱动磁场分布情况 | 第53-54页 |
| 5.2.2 双杆驱动磁场分布情况 | 第54-56页 |
| 5.3 多参数驱动磁场控制结果 | 第56-61页 |
| 5.3.1 频率控制 | 第56-58页 |
| 5.3.2 相位控制 | 第58-60页 |
| 5.3.3 幅值控制 | 第60-61页 |
| 5.4 振动轨迹控制结果 | 第61-72页 |
| 5.4.1 基于相位调节的轨迹控制 | 第61-64页 |
| 5.4.2 单周期轨迹控制 | 第64-70页 |
| 5.4.3 多周期振动轨迹控制 | 第70-71页 |
| 5.4.4 致动器末端z向振动测试 | 第71-72页 |
| 5.5 本章小结 | 第72-73页 |
| 结论与展望 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 附录A 求解单层螺线管内部磁感应强度的Matlab的m文件 | 第77-78页 |
| 附录B 求解螺线管内部磁感应强度的Matlab的m文件 | 第78-79页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
