| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 光纤传感器的分类 | 第9页 |
| 1.2 光纤相位调制型传感器 | 第9-11页 |
| 1.2.1 迈克尔逊光纤干涉仪 | 第10页 |
| 1.2.2 马赫-曾德光纤干涉仪 | 第10-11页 |
| 1.2.3 法布里-珀罗光纤干涉仪 | 第11页 |
| 1.2.4 赛格纳克光纤干涉仪 | 第11页 |
| 1.3 迈克尔逊光纤干涉仪的研究近况 | 第11-14页 |
| 1.3.1 长周期光纤光栅探针型结构 | 第12页 |
| 1.3.2 锥形结构 | 第12-13页 |
| 1.3.3 纤芯错位结构 | 第13页 |
| 1.3.4 飞秒微加工微结构 | 第13页 |
| 1.3.5 特殊光纤端面结构 | 第13-14页 |
| 1.3.6 特种光纤形成传统迈克尔逊结构 | 第14页 |
| 1.4 本论文的主要内容 | 第14-16页 |
| 第二章 飞秒激光切割 45°倾斜光纤端面迈克尔逊高温传感器 | 第16-30页 |
| 2.1 飞秒激光及其微加工的特点 | 第16-17页 |
| 2.2 飞秒激光微加工系统 | 第17-19页 |
| 2.3 飞秒激光切割 45°倾斜单模光纤端面制作迈克尔逊高温传感器 | 第19-26页 |
| 2.3.1 基于 45° 倾斜单模光纤端面迈克尔逊传感探头的结构与原理 | 第21-22页 |
| 2.3.2 温度传感机理 | 第22-23页 |
| 2.3.3 基于 45° 倾斜单模光纤端面迈克尔逊传感探头的制作工艺 | 第23-24页 |
| 2.3.4 基于 45° 倾斜单模光纤端面迈克尔逊传感探头的光谱分析 | 第24页 |
| 2.3.5 基于 45° 倾斜单模光纤端面迈克尔逊传感探头的高温传感特性 | 第24-26页 |
| 2.4 飞秒激光切割 45°倾斜细芯光纤端面制作迈克尔逊高温传感器 | 第26-29页 |
| 2.4.1 基于 45° 倾斜细芯光纤端面迈克尔逊传感器的工作原理与制作工艺 | 第27-28页 |
| 2.4.2 基于 45° 倾斜细芯光纤端面迈克尔逊传感器的高温传感特性 | 第28-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 悬臂梁光纤高温传感器 | 第30-44页 |
| 3.1 45°悬臂梁高温传感器 | 第31-38页 |
| 3.1.1 45°悬臂梁高温传感器的结构与原理 | 第31-32页 |
| 3.1.2 45°悬臂梁高温传感器的制作工艺 | 第32-34页 |
| 3.1.3 45°悬臂梁高温传感器的光谱分析 | 第34页 |
| 3.1.4 45°悬臂梁高温传感器的高温传感特性 | 第34-38页 |
| 3.2 90°悬臂梁高温传感器 | 第38-43页 |
| 3.2.1 90°悬臂梁高温传感器的结构与原理 | 第38-39页 |
| 3.2.2 90°悬臂梁高温传感器的制作工艺 | 第39-40页 |
| 3.2.3 90°悬臂梁高温传感器的光谱分析 | 第40-41页 |
| 3.2.4 90°悬臂梁高温传感器的高温传感特性 | 第41-43页 |
| 3.3 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 总结与展望 | 第44-46页 |
| 4.1 主要工作总结 | 第44页 |
| 4.2 未来工作展望 | 第44-46页 |
| 参考文献 | 第46-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第52页 |
