| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第7-11页 |
| 1.1 现代光学薄膜的发展现状 | 第7-8页 |
| 1.2 激光通信的发展现状 | 第8-9页 |
| 1.3 论文研究的主要内容 | 第9-11页 |
| 第二章 光学薄膜的基本理论 | 第11-20页 |
| 2.1 光学薄膜特性的理论计算 | 第11-15页 |
| 2.2 有效界面法 | 第15-18页 |
| 2.3 高反射带带宽的计算 | 第18-20页 |
| 第三章 多波段滤光片的工艺参数研究及膜系设计 | 第20-36页 |
| 3.1 激光通信系统中多波段滤光片的技术要求 | 第20页 |
| 3.2 镀膜材料的选取 | 第20-21页 |
| 3.3 工艺参数的研究 | 第21-23页 |
| 3.4 薄膜材料的折射率和Tooling Factor | 第23-28页 |
| 3.5 多波段滤光片的膜系设计 | 第28-36页 |
| 第四章 薄膜沉积设备 | 第36-45页 |
| 4.1 真空镀膜设备 | 第36-37页 |
| 4.2 真空系统 | 第37-39页 |
| 4.3 蒸发技术 | 第39-41页 |
| 4.4 监控技术 | 第41-44页 |
| 4.5 测试技术 | 第44-45页 |
| 第五章 多波段滤光片的制备与检测分析 | 第45-52页 |
| 5.1 多波段滤光片的制备工艺流程 | 第45-46页 |
| 5.2 实验过程中遇到的问题与解决方法 | 第46-50页 |
| 5.3 激光通信系统中多波段滤光片的测试 | 第50-51页 |
| 5.4 环境测试 | 第51-52页 |
| 结论 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-55页 |
| 附录 | 第55页 |