基于MIM结构介电薄膜电学特性表征方法研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| §1.1 课题研究背景及意义 | 第8-9页 |
| §1.2 课题国内外研究现状 | 第9-11页 |
| §1.3 课题主要研究内容 | 第11-13页 |
| §1.4 全文技术路线 | 第13-14页 |
| 第二章 基础理论 | 第14-23页 |
| §2.1 介电薄膜材料及其介电特性表征技术 | 第14-17页 |
| §2.1.1 介电薄膜材料 | 第14-15页 |
| §2.1.2 薄膜介电特性表征技术 | 第15-17页 |
| §2.2 微波频段划分及特点 | 第17-18页 |
| §2.3 传输线分布参数效应 | 第18-19页 |
| §2.4 微波网络基础 | 第19-22页 |
| §2.4.1 网络等效原理 | 第19-20页 |
| §2.4.2 双端口微波网络 | 第20-21页 |
| §2.4.3 单端口微波网络 | 第21-22页 |
| §2.5 本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 MIM器件描述与动量电磁仿真设计 | 第23-35页 |
| §3.1 MIM结构介绍 | 第23-25页 |
| §3.2 MIM器件半导体工艺与测量系统简介 | 第25-28页 |
| §3.2.1 MIM器件半导体工艺 | 第25-26页 |
| §3.2.2 测量系统 | 第26-28页 |
| §3.3 MIM结构动量电磁仿真 | 第28-34页 |
| §3.3.1 仿真软件的选择 | 第28-29页 |
| §3.3.2 仿真模型建立 | 第29-31页 |
| §3.3.3 电磁仿真设置 | 第31-33页 |
| §3.3.4 仿真模型的正确性验证 | 第33-34页 |
| §3.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第四章 薄膜介电特性的差动法表征技术 | 第35-51页 |
| §4.1 差动法表征技术 | 第35-41页 |
| §4.1.1 差动法原理 | 第35-37页 |
| §4.1.2 差动法表征结果分析 | 第37-41页 |
| §4.2 差动法影响因素探究 | 第41-47页 |
| §4.2.1 不同MIM组合探究 | 第41-44页 |
| §4.2.2 底部电极厚度与材料探究 | 第44-47页 |
| §4.3 差动法补充技术-Rs剥离技术 | 第47-50页 |
| §4.3.1 Rs剥离技术原理 | 第47-48页 |
| §4.3.2 Rs剥离技术的结果分析 | 第48-50页 |
| §4.4 本章小节 | 第50-51页 |
| 第五章 薄膜介电特性的等效电路法表征技术 | 第51-60页 |
| §5.1 R-L等效电路法表征技术 | 第51-55页 |
| §5.1.1 R-L等效电路法原理 | 第51-53页 |
| §5.1.2 R-L等效电路法表征分析 | 第53-55页 |
| §5.2 R-Cp等效电路法表征技术 | 第55-57页 |
| §5.2.1 R-Cp等效电路法原理 | 第55-56页 |
| §5.2.2 R-Cp等效电路法表征分析 | 第56-57页 |
| §5.3 差动法与等效电路法表征结果对比分析 | 第57-59页 |
| §5.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 第六章 总结和展望 | 第60-62页 |
| §6.1 总结 | 第60-61页 |
| §6.2 展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 作者在攻读硕士期间的主要研究成果 | 第67页 |
