| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| CONTENT | 第11-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-26页 |
| 1.1 薄膜电感的研究现状 | 第13-17页 |
| 1.2 电感薄膜软磁材料的研究现状 | 第17-20页 |
| 1.2.1 Co(Fe)Zr系软磁材料 | 第17页 |
| 1.2.2 Co(Fe)NbZr系软磁材料 | 第17-18页 |
| 1.2.3 CoTaZr系软磁材料 | 第18-20页 |
| 1.2.4 其他软磁材料 | 第20页 |
| 1.3 磁化过程概述 | 第20-25页 |
| 1.3.1 静态磁化过程 | 第21页 |
| 1.3.2 动态磁化过程 | 第21-25页 |
| 1.4 论文选题目的与意义 | 第25-26页 |
| 第二章 实验方法 | 第26-32页 |
| 2.1 薄膜样品制备 | 第26-28页 |
| 2.2 薄膜性能测试 | 第28-32页 |
| 2.2.1 表面形貌观察 | 第28-29页 |
| 2.2.2 成分分析 | 第29页 |
| 2.2.3 物相分析 | 第29-30页 |
| 2.2.4 磁性能分析 | 第30页 |
| 2.2.5 电性能分析 | 第30-32页 |
| 第三章 磁控溅射Co膜的表面形貌、组织结构及性能 | 第32-59页 |
| 3.1 气压与功率对薄膜表面形貌、组织结构及性能的影响 | 第32-50页 |
| 3.2 基体材料对薄膜表面形貌及组织结构的影响 | 第50-55页 |
| 3.3 沉积时间对薄膜表面形貌及性能的影响 | 第55-58页 |
| 3.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第四章 磁控溅射CoTaZr及(Co/CoTaZr/Co)_n薄膜形貌、组织结构及性能 | 第59-72页 |
| 4.1 磁控溅射CoTaZr薄膜的形貌、结构及性能 | 第59-67页 |
| 4.1.1 CoTaZr合金膜成分、形貌及结构分析 | 第59-65页 |
| 4.1.2 CoTaZr合金膜性能分析 | 第65-67页 |
| 4.2 磁控溅射(Co/CoTaZr/Co)_n多层膜的形貌、组织结构与性能研究 | 第67-70页 |
| 4.2.1 (Co/CoTaZr/Co)_n多层膜的形貌及结构 | 第68-70页 |
| 4.2.2 (Co/CoTaZr/Co)_n多层膜的性能 | 第70页 |
| 4.3 本章小结 | 第70-72页 |
| 结论 | 第72-74页 |
| 论文创新点 | 第74页 |
| 有待进一步开展的工作 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-80页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第80-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
