摘要 | 第5-6页 |
Abstract | 第6页 |
第一章 绪论 | 第10-20页 |
1.1 智能功率驱动芯片概述 | 第10-12页 |
1.1.1 智能功率驱动芯片介绍 | 第10-11页 |
1.1.2 LIGBT器件在智能功率驱动芯片中的应用 | 第11-12页 |
1.2 国内外研究现状 | 第12-16页 |
1.2.1 LIGBT关断时间国内外研究现状 | 第12-16页 |
1.2.2 研究现状总结与发展趋势 | 第16页 |
1.3 论文研究内容及意义 | 第16-18页 |
1.3.1 研究内容 | 第16-17页 |
1.3.2 设计指标 | 第17-18页 |
1.4 论文组织结构 | 第18-20页 |
第二章 厚膜SOI-LIGBT器件工作原理 | 第20-34页 |
2.1 结构特点与优势 | 第20-22页 |
2.1.1 厚膜SOI-LIGBT器件的结构特点 | 第20-21页 |
2.1.2 厚膜SOI-LIGBT器件的优势 | 第21-22页 |
2.2 静态参数特性分析 | 第22-26页 |
2.2.1 雪崩击穿电压 | 第22-25页 |
2.2.2 阈值电压 | 第25页 |
2.2.3 电流能力 | 第25-26页 |
2.3 开关特性分析 | 第26-29页 |
2.3.1 开启过程 | 第27-28页 |
2.3.2 关断过程 | 第28-29页 |
2.3.3 开关损耗占比问题 | 第29页 |
2.4 其他特性分析 | 第29-32页 |
2.4.1 抗闩锁能力 | 第30页 |
2.4.2 电流回跳问题 | 第30-32页 |
2.5 本章小结 | 第32-34页 |
第三章 厚膜SOI-LIGBT器件的关断特性研究 | 第34-52页 |
3.1 传统厚膜SOI-LIGBT器件关断过程载流子分布 | 第34-47页 |
3.1.1 关断前载流子的分布情况 | 第41-42页 |
3.1.2 关断过程中耗尽层展宽的过程 | 第42-45页 |
3.1.3 关断过程中载流子的分布情况 | 第45页 |
3.1.4 关断过程中载流子的流动路径 | 第45-47页 |
3.1.5 关断过程中载流子的复合情况 | 第47页 |
3.2 几种具有快速关断特性的结构 | 第47-51页 |
3.2.1 阳极短路结构仿真研究 | 第47-48页 |
3.2.2 分段阳极结构仿真研究 | 第48-49页 |
3.2.3 集电极端P+/P-结构仿真研究 | 第49-50页 |
3.2.4 双栅结构仿真研究 | 第50-51页 |
3.3 本章小结 | 第51-52页 |
第四章 快关断厚膜SOI-LIGBT器件的优化设计 | 第52-68页 |
4.1 具有沟槽隔离阳极短路结构的厚膜SOI-LIGBT器件 | 第52-53页 |
4.1.1 具有沟槽隔离阳极短路结构的厚膜SOI-LIGBT器件特点 | 第52页 |
4.1.2 具有沟槽隔离阳极短路结构的厚膜SOI-LIGBT器件原理 | 第52-53页 |
4.2 基本结构参数设计 | 第53-61页 |
4.2.1 耐压能力设计 | 第53-57页 |
4.2.2 阈值电压设计 | 第57-58页 |
4.2.3 电流能力设计 | 第58-59页 |
4.2.4 抗闩锁能力设计 | 第59-60页 |
4.2.5 基本参数确定 | 第60-61页 |
4.3 关断特性优化设计 | 第61-67页 |
4.3.1 具有沟槽隔离阳极短路结构的厚膜SOI-LIGBT器件的工作原理仿真分析 | 第62-64页 |
4.3.2 W_a和W_c对器件关断时间、电流密度和snapback电压的影响 | 第64-65页 |
4.3.3 W_t对器件器件关断时间、电流密度和snapback电压的影响 | 第65页 |
4.3.4 L_a对器件电流密度及关断时间的影响 | 第65-66页 |
4.3.5 W_n和W_p对器件关断时间和电流密度的影响 | 第66-67页 |
4.3.6 最终器件尺寸 | 第67页 |
4.4 本章小结 | 第67-68页 |
第五章 厚膜SOI-LIGBT器件的流片验证与测试分析 | 第68-76页 |
5.1 厚膜SOI-LIGBT器件的工艺流程设计 | 第68-69页 |
5.2 具有沟槽隔离阳极短路结构的厚膜SOI-LIGBT器件的版图设计 | 第69-70页 |
5.3 具有沟槽隔离阳极短路结构的厚膜SOI-LIGBT器件的测试结果 | 第70-74页 |
5.3.1 器件耐压测试结果 | 第71页 |
5.3.2 器件阈值电压测试结果 | 第71-72页 |
5.3.3 器件电流能力测试结果 | 第72-73页 |
5.3.4 器件关断时间测试结果 | 第73页 |
5.3.5 器件抗闩锁能力测试结果 | 第73-74页 |
5.4 本章小结 | 第74-76页 |
第六章 总结与展望 | 第76-78页 |
6.1 总结 | 第76-77页 |
6.2 展望 | 第77-78页 |
致谢 | 第78-80页 |
参考文献 | 第80-84页 |
攻读硕士期间发表的论文和专利 | 第84页 |