| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-24页 |
| ·垂直腔面发射激光器概述 | 第10-12页 |
| ·垂直腔面发射激光器的发展历程 | 第10-11页 |
| ·垂直腔面发射激光器的基本结构 | 第11-12页 |
| ·垂直腔面发射激光器的特点 | 第12页 |
| ·垂直腔面发射激光器的横模研究现状 | 第12-22页 |
| ·单横模VCSEL的应用和研究意义 | 第12-14页 |
| ·单横模VCSEL的研究现状 | 第14-17页 |
| ·多横模VCSEL的应用和研究意义 | 第17-18页 |
| ·多横模VCSEL的研究现状 | 第18-22页 |
| ·本文的研究工作 | 第22-24页 |
| 第2章垂直腔面发射激光器横向模式的理论基础 | 第24-42页 |
| ·横向模式的理论基础 | 第24-28页 |
| ·圆对称氧化孔径VCSEL横模的计算 | 第25-27页 |
| ·VCSEL的LP模式特性 | 第27-28页 |
| ·氧化孔径对载流子分布以及模式的影响 | 第28-32页 |
| ·氧化孔径对载流子分布的影响 | 第28-30页 |
| ·氧化孔径对横向模式空间分布的影响 | 第30-32页 |
| ·注入电流对VCSEL模式特性的影响 | 第32-36页 |
| ·速率方程的建立 | 第32-35页 |
| ·载流子分布对模式的影响 | 第35-36页 |
| ·折射率对VCSEL模式特性的影响 | 第36-37页 |
| ·横向模式对应波长的理论基础 | 第37-39页 |
| ·氧化孔径与横模对应波长的关系 | 第37-38页 |
| ·圆形孔径VCSEL波长等间距特性 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-42页 |
| 第3章 椭圆孔径VCSEL横向模式的模拟 | 第42-52页 |
| ·椭圆形孔径VCSEL的横模计算 | 第42-46页 |
| ·椭圆孔径VCSEL横模的模拟 | 第46-47页 |
| ·椭圆孔径VCSEL折射率分布模型的建立 | 第47-48页 |
| ·椭圆氧化孔径VCSEL光谱特性 | 第48-51页 |
| ·椭圆氧化孔径VCSEL两个正交方向折射率分布模型 | 第48-49页 |
| ·椭圆氧化孔径VCSEL横模对应波长的计算 | 第49-50页 |
| ·椭圆氧化孔径VCSEL波长间距的分析 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第4章 VCSEL器件的制备与测试结果分析 | 第52-64页 |
| ·VCSEL制作工艺流程 | 第52页 |
| ·VCSEL制备的关键工艺 | 第52-55页 |
| ·湿法腐蚀工艺 | 第52-53页 |
| ·湿氮氧化工艺 | 第53-55页 |
| ·不同氧化孔径VCSEL近场特性测试 | 第55-56页 |
| ·不同注入电流下近场模式特性测试 | 第56-58页 |
| ·圆形氧化孔径器件光谱特性测试 | 第58-59页 |
| ·椭圆氧化孔径VCSEL近场测试分析 | 第59-61页 |
| ·椭圆氧化孔径VCSEL光谱测试分析 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 结论 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-72页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74页 |