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MOCVD系统在GaAs太阳电池中的应用研究

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-7页
第一章 绪论第7-20页
   ·引言第7-8页
   ·MOCVD技术概述第8-12页
   ·空间太阳电池发展历程第12-18页
     ·空间太阳电池历史回顾第12-14页
     ·单结Ⅲ-Ⅴ族太阳电池第14-15页
     ·多结Ⅲ-Ⅴ族太阳电池第15-18页
   ·本文研究的主要内容第18-20页
第二章 MOCVD系统研究第20-31页
   ·MOCVD系统组成第20页
   ·MOCVD系统组成部分的原理与作用第20-31页
     ·外围条件保障系统第20-25页
     ·MOCVD设备第25-29页
     ·尾气处理系统第29-30页
     ·安全防护报警系统第30-31页
第三章 MOCVD系统使用过程中影响GaAs太阳电池生长质量研究第31-39页
   ·外延片表面落尘对太阳电池生长质量影响第31页
   ·生长温度对太阳电池生长质量影响第31-32页
   ·外延层组分控制对太阳电池生长质量影响第32-34页
   ·Ge衬底生长材料对太阳电池生长质量影响第34-37页
   ·反应室气密性对太阳电池生长质量影响第37页
   ·备件清洗对太阳电池生长质量影响第37-39页
第四章 提高GaAs三结太阳电池的光电转换效率的研究第39-66页
   ·提高光电转换效率的技术途径第39-41页
   ·子电池带宽研究第41-43页
   ·子电池设计研究第43-46页
   ·Ge结子电池研究第46页
   ·中间子电池研究第46-49页
   ·GaInP顶电池研究第49-51页
   ·电池的电流匹配研究第51页
   ·隧穿结研究第51-53页
   ·量子阱结构研究第53-55页
   ·无失配GaInP材料的外延控制技术研究第55页
   ·衬底无失配的材料外延技术研究第55-56页
   ·电极体系选择研究第56-58页
   ·减反射膜研究第58-61页
   ·三结高效太阳电池的集成性优化设计仿真研究第61-63页
   ·电池器件工艺研究第63-66页
第五章 结论第66-67页
参考文献第67-69页
发表论文和参加科研情况说明第69-70页
致谢第70页

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