基于多铁纳米纤维的压力传感器设计与工艺研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-19页 |
| ·选题的背景及意义 | 第8-9页 |
| ·MEMS压力传感器的研究现状 | 第9-11页 |
| ·多铁纳米纤维材料综述 | 第11-18页 |
| ·多铁纳米纤维材料性能 | 第11-13页 |
| ·多铁纳米纤维的应用前景和研究进展 | 第13-16页 |
| ·多铁纳米纤维的制备方法 | 第16-18页 |
| ·课题来源与研究的主要内容 | 第18-19页 |
| 2 多铁纳米纤维压力传感器的原理与结构设计 | 第19-28页 |
| ·多铁纳米纤维压力传感器的原理及理论分析 | 第19-25页 |
| ·弹性膜片的设计及力学分析 | 第19-21页 |
| ·压电纤维力学分析 | 第21-23页 |
| ·多铁纳米纤维的压电分析 | 第23-24页 |
| ·传感器输出电压的计算 | 第24-25页 |
| ·多铁纳米纤维压力传感器的结构设计 | 第25-26页 |
| ·不同结构尺寸对传感器的影响及结果分析 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 3 多铁纳米纤维的制备、表征及性能 | 第28-38页 |
| ·多铁纳米纤维的制备 | 第28-33页 |
| ·实验方法与工艺参数 | 第28-30页 |
| ·静电纺丝法 | 第28-29页 |
| ·影响静电纺丝的工艺参数 | 第29-30页 |
| ·实验材料与仪器 | 第30-32页 |
| ·实验材料及药品 | 第30-31页 |
| ·实验仪器与设备 | 第31-32页 |
| ·工艺流程 | 第32-33页 |
| ·多铁纳米纤维的结构和性能 | 第33-36页 |
| ·BFO纤维的结构 | 第33-35页 |
| ·BFO纤维的XRD测试分析 | 第33-34页 |
| ·BFO纤维的形貌测试分析 | 第34-35页 |
| ·BFO纤维的性能 | 第35-36页 |
| ·BFO纤维的取向控制 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 4 多铁纳米纤维压力传感器的的工艺设计 | 第38-46页 |
| ·微机械加工技术 | 第38-43页 |
| ·薄膜淀积技术 | 第39-40页 |
| ·光刻技术 | 第40-42页 |
| ·剥离技术 | 第42页 |
| ·刻蚀技术 | 第42-43页 |
| ·湿法刻蚀技术 | 第42-43页 |
| ·干法刻蚀技术 | 第43页 |
| ·多铁纤维压力传感器的工艺流程 | 第43-44页 |
| ·掩膜版的设计 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 5 多铁纳米纤维压力传感器的制作与实验分析 | 第46-57页 |
| ·实验仪器与药品 | 第46-47页 |
| ·实验方法与工艺参数 | 第47-54页 |
| ·硅片清洗技术 | 第47-48页 |
| ·溅射法制备铝膜 | 第48页 |
| ·背面铝掩蔽层图形化 | 第48-49页 |
| ·湿法刻蚀背面铝掩蔽层 | 第49页 |
| ·正面叉指电极图形化 | 第49-50页 |
| ·溅射法制备正面钛膜 | 第50-51页 |
| ·溅射法制备正面金膜 | 第51页 |
| ·剥离法制备正面叉指电极 | 第51页 |
| ·ICP刻蚀背面硅腔 | 第51-53页 |
| ·静电纺丝法制备多铁纳米纤维 | 第53-54页 |
| ·实验测试与分析 | 第54-56页 |
| ·ICP刻蚀的实验分析 | 第54-55页 |
| ·形貌测试分析 | 第55页 |
| ·铁电性能测试分析 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 结论与展望 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 附录 | 第61-62页 |
| 申请学位期间的研究成果及发表的学术论文 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
