静电微泵动态特性和流量分析
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-18页 |
| ·引言 | 第11-12页 |
| ·MEMS 的典型特点 | 第12-13页 |
| ·微泵简介 | 第13-14页 |
| ·国内外研究现状 | 第14-17页 |
| ·论文主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 静电微泵泵膜的自由振动分析 | 第18-28页 |
| ·静电微泵的模型及相关假设 | 第18-19页 |
| ·泵膜弯曲平衡方程和振动方程 | 第19-22页 |
| ·泵膜的自由振动 | 第22-25页 |
| ·实例计算与结果分析 | 第25-27页 |
| ·系统结构参数 | 第25页 |
| ·泵膜的模态振型 | 第25-26页 |
| ·频率计算 | 第26页 |
| ·参数对主频率的影响 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 偏置电压下泵膜的振动分析 | 第28-64页 |
| ·系统静电力 | 第28-30页 |
| ·泵膜在偏置电压下的静态位移 | 第30-32页 |
| ·防止静电吸合的条件 | 第32-33页 |
| ·微泵机电流体耦合动力学模型 | 第33-35页 |
| ·偏置电压下泵膜的振动方程 | 第35-36页 |
| ·偏置电压下泵膜的自由振动 | 第36-42页 |
| ·自由振动微分方程的求解 | 第36-38页 |
| ·频率特性 | 第38页 |
| ·广义坐标 | 第38-42页 |
| ·偏置电压下泵膜的受迫振动 | 第42-52页 |
| ·受迫振动微分方程的求解 | 第43-44页 |
| ·接近共振的受迫振动 | 第44-48页 |
| ·远离共振的受迫振动 | 第48-52页 |
| ·实例计算与结果分析 | 第52-63页 |
| ·泵膜静态位移分析 | 第52-53页 |
| ·泵膜的自由振动分析 | 第53-58页 |
| ·泵膜接近共振的受迫振动分析 | 第58-61页 |
| ·泵膜远离共振的受迫振动分析 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第4章 微泵流量分析 | 第64-75页 |
| ·无阀微泵的工作原理 | 第64页 |
| ·扩散口和收缩口的性能分析 | 第64-69页 |
| ·微泵流量分析 | 第69-74页 |
| ·阻尼比的确定 | 第69-70页 |
| ·流量计算 | 第70-72页 |
| ·瞬时流量计算 | 第72-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第5章 微泵流量影响因素分析 | 第75-83页 |
| ·远离共振 | 第75-76页 |
| ·接近共振 | 第76-77页 |
| ·流量影响曲线 | 第77-81页 |
| ·结果分析 | 第81-82页 |
| ·远离共振结果分析 | 第81页 |
| ·接近共振结果分析 | 第81-82页 |
| ·本章小结 | 第82-83页 |
| 第6章 微泵结构参数的优化 | 第83-90页 |
| ·优化设计的数学模型 | 第83-84页 |
| ·静电微泵优化问题的简化 | 第84-85页 |
| ·静电微泵的优化 | 第85-89页 |
| ·本章小结 | 第89-90页 |
| 第7章 ANSYS 仿真分析 | 第90-97页 |
| ·泵膜自由振动模态仿真 | 第90-93页 |
| ·模态分析主要过程 | 第90-91页 |
| ·模态分析结果 | 第91-93页 |
| ·泵膜结构静电耦合变形仿真 | 第93-96页 |
| ·耦合变形分析主要过程 | 第94-95页 |
| ·耦合变形结果 | 第95-96页 |
| ·本章小结 | 第96-97页 |
| 结论 | 第97-98页 |
| 参考文献 | 第98-101页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务和主要成果 | 第101-102页 |
| 致谢 | 第102-103页 |
| 作者简介 | 第103页 |
