用于扫描刻蚀加工的特种悬臂梁探针关键技术研究

摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
第一章 绪论	第10-17页
·扫描刻蚀加工研究进展	第10-12页
·压电复合悬臂梁研究进展	第12-14页
·压电复合悬臂梁的控制方法研究	第14-15页
·特种悬臂梁的研究目的和意义	第15页
·论文研究内容	第15-17页
第二章 压电陶瓷复合悬臂梁的理论建模	第17-29页
·压电材料	第17-19页
·压电效应	第17-18页
·压电材料	第18-19页
·压电方程	第19-23页
·压电方程的类别	第19-20页
·压电复合悬臂梁压电方程	第20-23页
·压电复合悬臂梁力学与电学分析	第23-27页
·假设条件	第23页
·压电致动器	第23-26页
·压电传感器	第26-27页
·压电悬臂梁的自激励-自检测原理研究	第27-28页
·本章小结	第28-29页
第三章 特种悬臂梁的结构优化研究	第29-48页
·复合悬臂梁的残余应力分析	第29-32页
·利用ANSYS软件优化结构尺寸	第32-38页
·SI层对微悬臂梁弯曲变形影响	第33-34页
·NI层对微悬臂梁弯曲变形影响	第34-36页
·底层为镍层对微悬臂梁弯曲变形影响	第36页
·聚酰业胺层厚度变化对微悬臂梁弯曲变形影响	第36-37页
·二氧化硅层厚度变化对微悬臂梁弯曲变形影响	第37页
·压电陶瓷层厚度变化对微悬臂梁弯曲变形的影响	第37-38页
·铂金层厚度变化对微悬臂梁弯曲变形的影响	第38页
·基于田口法的悬臂梁优化设计	第38-42页
·田口法	第38页
·品质损失函数	第38-39页
·品质评价S/N比法	第39-40页
·基于田口法的正交表分析	第40页
·仿真实验结果分析	第40-42页
·采用FEA对整体机构的模态分析	第42页
·分析悬臂梁的动态谐响应性能	第42-44页
·梁共振品质因数	第44页
·薄膜微悬臂梁中的残余应力变化对梁的共振影响	第44-47页
·镍层残余应力变化对梁的共振影响	第44-45页
·聚酰亚胺层残余应力变化对梁的共振影响	第45页
·铂金层残余应力变化对梁的共振影响	第45-46页
·压电层残余应力变化对梁的共振影响	第46页
·二氧化硅层残余应力变化对梁的共振影响	第46-47页
·本章小结	第47-48页
第四章 复合梁结构振动建模分析及加工工艺研究	第48-59页
·多层悬臂梁的有限元振动建模研究	第48-57页
·微悬臂梁的有限元法建模	第49页
·复合梁单元中性轴研究	第49页
·微悬臂梁的有限单元分析	第49-50页
·质量矩阵	第50-51页
·刚度矩阵	第51-52页
·压电层中控制刚度矩阵	第52-54页
·多层悬臂梁总体阻尼矩阵	第54页
·GUYAN减缩法	第54-55页
·梁单元矩阵求法	第55-56页
·特种微悬臂梁振动方程	第56页
·悬臂梁有限元振动状态空间方程的建立	第56-57页
·特种悬臂梁加工工艺研究	第57-58页
·本章小结	第58-59页
第五章 悬臂梁振动控制器设计与仿真实验分析	第59-69页
·基于压电复合悬臂梁主动控制研究	第59-60页
·负速度反馈的振动主动控制	第60-64页
·电荷放大器设计	第60-61页
·梁单元应变与位移关系	第61-62页
·系统控制方程	第62-64页
·双层压电陶瓷片结构的仿真测试分析	第64-68页
·实验原理	第64-65页
·实验仪器说明	第65-66页
·实验及其结果分析	第66-68页
·本章小结	第68-69页
第六章 结论与展望	第69-71页
·论文的内容总结	第69页
·论文创新性总结	第69-70页
·展望	第70-71页
致谢	第71-72页
参考文献	第72-76页
攻读学位期间发表的学术论文目录	第76页