集成超声传感阵列的设计与测试
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-14页 |
| ·研究的背景和意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-12页 |
| ·集成超声传感器阵列的应用前景 | 第12-13页 |
| ·本文研究主要内容 | 第13-14页 |
| 第2章 压阻式超声传感器阵元的设计 | 第14-27页 |
| ·压阻式超声传感器的敏感原理 | 第14-16页 |
| ·结构设计 | 第16-19页 |
| ·微传感梁结构的设计 | 第16-17页 |
| ·不同结构的灵敏度对比 | 第17-19页 |
| ·仿真优化 | 第19-24页 |
| ·静力分析与灵敏度计算 | 第19-20页 |
| ·微传感梁结构的模态分析 | 第20-21页 |
| ·谐响应分析 | 第21-22页 |
| ·与悬臂梁压阻声传感结构对比 | 第22-23页 |
| ·结构的优化 | 第23-24页 |
| ·传感器信号的放大 | 第24-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 基于阵列成像原理及集成阵列的设计 | 第27-37页 |
| ·集成阵列的成像原理 | 第27-33页 |
| ·基于阵列的聚焦成像技术 | 第27-30页 |
| ·阵列的指向性 | 第30-33页 |
| ·阵列参数的设计 | 第33-36页 |
| ·阵元间距分析 | 第33-34页 |
| ·集成阵列设计原则与方法 | 第34页 |
| ·集成阵列各个参数的设计 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 集成接收阵列的加工与封装 | 第37-49页 |
| ·压阻式集成接收阵列的加工 | 第37-41页 |
| ·传感器阵列裸芯片的封装设计 | 第41-42页 |
| ·阵列的防护封装壳设计 | 第42-48页 |
| ·空气中封装的设计 | 第42-44页 |
| ·水中的封装 | 第44-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第5章 集成接收阵列的性能测试 | 第49-64页 |
| ·集成接收阵列性能的一致性测试 | 第49-55页 |
| ·传感器性能一致性的统计理论 | 第49-50页 |
| ·压阻阻值的一致性测试 | 第50-53页 |
| ·共振频率的一致性测试 | 第53-54页 |
| ·灵敏度的一致性测试 | 第54-55页 |
| ·接收基阵的指向性的测试 | 第55-59页 |
| ·单元的指向性测试 | 第55-57页 |
| ·阵列的指向性测试实验 | 第57-59页 |
| ·集成阵列多目标分辨的测试 | 第59-63页 |
| ·脉冲信号发生系统 | 第59-61页 |
| ·多目标分辨测试 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 结束语 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
