HFCVD系统温度场和流场的仿真研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-19页 |
| ·引言 | 第13-15页 |
| ·HFCVD 金刚石膜的合成原理 | 第15-17页 |
| ·HFCVD 金刚石膜的合成方法 | 第15页 |
| ·HFCVD 系统温度场对金刚石膜生长的影响 | 第15-17页 |
| ·HFCVD 系统温度场的研究现状 | 第17-18页 |
| ·本文的研究意义与主要内容 | 第18-19页 |
| ·研究意义 | 第18页 |
| ·主要内容 | 第18-19页 |
| 第二章 HFCVD 系统温度场与流场的理论基础 | 第19-31页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·有限元理论 | 第19-21页 |
| ·数值模拟理论 | 第19-20页 |
| ·ANSYS 软件介绍 | 第20-21页 |
| ·FLOTRAN CFD 简介 | 第21页 |
| ·传热学基础 | 第21-27页 |
| ·系统热作用分析 | 第21-22页 |
| ·传热学基本定理 | 第22-25页 |
| ·传热学中的有限法 | 第25-27页 |
| ·流体力学基础 | 第27-30页 |
| ·流场相似准数 | 第27-28页 |
| ·流体运动的基本方程 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 HFCVD 系统衬底温度场的模拟计算 | 第31-51页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·衬底温度场的实验研究 | 第31-33页 |
| ·常用测温方法 | 第31-32页 |
| ·衬底温度场的测定 | 第32-33页 |
| ·衬底有限元模型的建立 | 第33-38页 |
| ·仿真模型的简化假设 | 第33-34页 |
| ·划分网格 | 第34-36页 |
| ·定解条件 | 第36-37页 |
| ·求解计算 | 第37-38页 |
| ·衬底温度场计算结果及分析 | 第38-44页 |
| ·接触热阻对衬底温度的影响 | 第38-40页 |
| ·热丝参数对衬底温度的影响 | 第40-43页 |
| ·结果与讨论 | 第43-44页 |
| ·球形衬底温度场的模拟计算 | 第44-48页 |
| ·球形衬底有限元模型 | 第44-46页 |
| ·模拟结果及分析 | 第46-48页 |
| ·拉丝模温度场的模拟计算 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第四章 HFCVD 系统空间场的模拟计算 | 第51-72页 |
| ·引言 | 第51页 |
| ·计算流体动力学分析概述 | 第51-54页 |
| ·气相流场特性 | 第51-52页 |
| ·FLOTRAN CFD 求解策略 | 第52-54页 |
| ·热－流耦合模型的建立 | 第54-58页 |
| ·计算区域有限元模型 | 第54-57页 |
| ·定解条件 | 第57页 |
| ·求解计算 | 第57-58页 |
| ·计算结果及分析 | 第58-71页 |
| ·系统空间场初始分析 | 第58-61页 |
| ·系统温度场分析 | 第61-64页 |
| ·系统流场分析 | 第64-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 第五章 总结与展望 | 第72-74页 |
| ·总结 | 第72-73页 |
| ·展望 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第78页 |
