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倾斜多焦点Fresnel二元光学元件的优化方法和制作研究

第一章 绪论第1-19页
 1.1 课题的目的和意义第10-11页
 1.2 国内外多焦点菲涅耳二元光学的研究现状第11-16页
 1.3 论文完成的主要工作和创新点第16-19页
第二章 标量衍射理论和算法研究第19-32页
 2.1 标量衍射理论第19-25页
  2.1.1 惠更斯 - 菲涅耳原理和基尔霍夫衍射定理第19-23页
  2.1.2 菲涅耳衍射第23-25页
 2.2 算法研究第25-28页
  2.2.1 迭代傅立叶算法第25-26页
  2.2.2 模拟退火算法第26-28页
 2.3 优化结果分析第28-29页
 2.4 算法改进的研究第29-31页
 2.5 本章小结第31-32页
第三章 多焦点Fresnel二元光学的基本理论第32-39页
 3.1 多焦点Fresnel二元光学元件设计的光学系统第32-33页
 3.2 倾斜焦平面菲涅耳二元光学元件设计的基本原理第33-37页
 3.3 二元光学元件各级衍射效率的分布规律第37页
 3.4 本章小结第37-39页
第四章 多焦点Fresnel二元光学元件的优化方法第39-51页
 4.1 用迭代傅立叶算法设计倾斜多焦点Fresnel二元光学元件的原理及实验第39-44页
 4.2 用迭代傅立叶算法设计分步多焦点Fresnel二元光学元件的原理及实验第44-46页
 4.3 两种优化算法实验结果的比较及结论第46-47页
 4.4 用IFTA-SA算法设计倾斜多焦点Fresnel二元光学元件及实验第47-49页
 4.5 算法改进前后两者实验结果的比较及讨论第49-50页
 4.6 本章小结第50-51页
第五章 激光直写系统制作倾斜多焦点Fresnel二元光学元件第51-60页
 5.1 激光直写系统简介第51-52页
 5.2 利用方光点逐点光刻法制作倾斜多焦点Fresnel二元光学元件第52-58页
  5.2.1 基本原理第52-54页
  5.2.2 实验结果及讨论第54-58页
 5.3 本章小结第58-60页
第六章 结论与展望第60-62页
参考文献第62-64页
攻读学位期间发表的论文第64-65页
致谢第65页

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