第一章 绪论 | 第1-19页 |
1.1 课题的目的和意义 | 第10-11页 |
1.2 国内外多焦点菲涅耳二元光学的研究现状 | 第11-16页 |
1.3 论文完成的主要工作和创新点 | 第16-19页 |
第二章 标量衍射理论和算法研究 | 第19-32页 |
2.1 标量衍射理论 | 第19-25页 |
2.1.1 惠更斯 - 菲涅耳原理和基尔霍夫衍射定理 | 第19-23页 |
2.1.2 菲涅耳衍射 | 第23-25页 |
2.2 算法研究 | 第25-28页 |
2.2.1 迭代傅立叶算法 | 第25-26页 |
2.2.2 模拟退火算法 | 第26-28页 |
2.3 优化结果分析 | 第28-29页 |
2.4 算法改进的研究 | 第29-31页 |
2.5 本章小结 | 第31-32页 |
第三章 多焦点Fresnel二元光学的基本理论 | 第32-39页 |
3.1 多焦点Fresnel二元光学元件设计的光学系统 | 第32-33页 |
3.2 倾斜焦平面菲涅耳二元光学元件设计的基本原理 | 第33-37页 |
3.3 二元光学元件各级衍射效率的分布规律 | 第37页 |
3.4 本章小结 | 第37-39页 |
第四章 多焦点Fresnel二元光学元件的优化方法 | 第39-51页 |
4.1 用迭代傅立叶算法设计倾斜多焦点Fresnel二元光学元件的原理及实验 | 第39-44页 |
4.2 用迭代傅立叶算法设计分步多焦点Fresnel二元光学元件的原理及实验 | 第44-46页 |
4.3 两种优化算法实验结果的比较及结论 | 第46-47页 |
4.4 用IFTA-SA算法设计倾斜多焦点Fresnel二元光学元件及实验 | 第47-49页 |
4.5 算法改进前后两者实验结果的比较及讨论 | 第49-50页 |
4.6 本章小结 | 第50-51页 |
第五章 激光直写系统制作倾斜多焦点Fresnel二元光学元件 | 第51-60页 |
5.1 激光直写系统简介 | 第51-52页 |
5.2 利用方光点逐点光刻法制作倾斜多焦点Fresnel二元光学元件 | 第52-58页 |
5.2.1 基本原理 | 第52-54页 |
5.2.2 实验结果及讨论 | 第54-58页 |
5.3 本章小结 | 第58-60页 |
第六章 结论与展望 | 第60-62页 |
参考文献 | 第62-64页 |
攻读学位期间发表的论文 | 第64-65页 |
致谢 | 第65页 |