基于激光直写的微流光学触摸传感阵列
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-15页 |
| ·触觉 | 第11-12页 |
| ·触觉的概念 | 第11-12页 |
| ·触觉的作用 | 第12页 |
| ·触觉传感器 | 第12-15页 |
| ·触觉传感器的概念 | 第12-13页 |
| ·触觉传感器的发展 | 第13-15页 |
| 第二章 光学触觉传感器 | 第15-37页 |
| ·触觉传感器 | 第15-21页 |
| ·机器人与电学触觉传感器 | 第15-18页 |
| ·机器人与光学触觉传感器 | 第18-21页 |
| ·触摸屏互动技术 | 第21-30页 |
| ·触屏显示与电学触摸屏 | 第21-26页 |
| ·触屏显示与光学触摸屏 | 第26-30页 |
| ·光学触摸传感技术发展现状 | 第30-37页 |
| ·机器人触觉传感系统 | 第30-33页 |
| ·触控技术 | 第33-37页 |
| 第三章 触摸传感结构设计 | 第37-47页 |
| ·光微流体技术 | 第37-38页 |
| ·集成光学 | 第38-41页 |
| ·波导理论 | 第38-39页 |
| ·材料工艺 | 第39-40页 |
| ·集成光学的应用 | 第40-41页 |
| ·新型传感器设计 | 第41-42页 |
| ·结构 | 第41-42页 |
| ·原理 | 第42页 |
| ·封装设计方案 | 第42-45页 |
| ·阵列结构设计 | 第45-47页 |
| 第四章 触摸传感结构的性能分析和参数优化 | 第47-51页 |
| ·光学设计模拟软件ZEMAX简介 | 第47-48页 |
| ·光学设计软件ZEMAX | 第47页 |
| ·ZEMAX光线追迹功能 | 第47-48页 |
| ·利用zemax对结构进行模拟计算和参数优化 | 第48-51页 |
| 第五章 激光直写方法制作触摸传感结构 | 第51-61页 |
| ·激光直写技术 | 第51-54页 |
| ·激光微细加工技术 | 第51-52页 |
| ·激光直写系统 | 第52-54页 |
| ·器件结构制作 | 第54-59页 |
| ·高精度二维平移台 | 第54-56页 |
| ·直写过程 | 第56页 |
| ·除胶与显影过程 | 第56-58页 |
| ·元件的封装 | 第58-59页 |
| ·阵列结构的制作 | 第59-61页 |
| 第六章 新型结构测试 | 第61-65页 |
| ·测试系统搭建 | 第61-62页 |
| ·性能测试结果 | 第62-63页 |
| ·系统误差分析 | 第63-65页 |
| 第七章 总结与展望 | 第65-69页 |
| ·总结 | 第65-66页 |
| ·创新性工作 | 第66页 |
| ·展望 | 第66-69页 |
| 参考文献 | 第69-75页 |
| 个人简历和学术论文成果 | 第75页 |
