光学薄膜反射型彩色滤光片研究
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| §1.1 滤光片概述 | 第10-11页 |
| §1.2 彩色滤光片技术 | 第11-17页 |
| §1.3 本论文的主要研究内容及创新点 | 第17-19页 |
| 参考文献 | 第19-21页 |
| 第二章 反射型彩色滤光片的设计 | 第21-38页 |
| §2.1 反射型彩色滤光片 | 第21-23页 |
| §2.2 金属-介质薄膜反射滤光片设计 | 第23-36页 |
| §2.2.1 诱导反射原理 | 第23-26页 |
| §2.2.2 薄膜材料选择 | 第26-27页 |
| §2.2.3 膜系设计 | 第27-36页 |
| §2.3 小结 | 第36-37页 |
| 参考文献 | 第37-38页 |
| 第三章 彩色滤光片及其阵列的制备 | 第38-55页 |
| §3.1 极薄金属薄膜参数的研究 | 第38-43页 |
| §3.1.1 极薄Cr膜参数的影响 | 第38-39页 |
| §3.1.2 金属薄膜参数的测量方法 | 第39-41页 |
| §3.1.3 Cr薄膜参数的反演 | 第41-43页 |
| §3.2 滤光片的改进、制备与测试 | 第43-46页 |
| §3.3 彩色滤光片阵列的设计与制备 | 第46-53页 |
| §3.3.1 滤光片阵列工艺 | 第46-49页 |
| §3.3.2 光刻掩模设计 | 第49-52页 |
| §3.3.3 彩色滤光片阵列 | 第52-53页 |
| §3.4 小结 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-55页 |
| 第四章 多峰反射滤光片研究 | 第55-68页 |
| §4.1 多峰滤光片概述 | 第55-57页 |
| §4.2 诱导反射双峰滤光片 | 第57-59页 |
| §4.3 相位匹配多峰滤光片 | 第59-65页 |
| §4.3.1 滤光片设计 | 第59-63页 |
| §4.3.2 制备和测试 | 第63-65页 |
| §4.4 小结 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-68页 |
| 第五章 总结与展望 | 第68-70页 |
| 作者简历 | 第70页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第70页 |
