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电容式微功耗重力开关的研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-8页
1 引言第8-16页
   ·课题来源、目的及意义第8-10页
   ·国内外研究现状第10-13页
   ·本课题的研究内容和方法第13页
   ·论文的主要内容第13-16页
2 变间距式敏感电容研究第16-28页
   ·敏感电容构成研究第16-21页
     ·金属箔片微观研究第16-17页
     ·敏感电容构成分析第17-21页
   ·间距与电容相关性研究第21-25页
     ·常用电容与间距关系研究第21-22页
     ·敏感电容极板间距变化研究第22-23页
     ·重力影响分析第23-25页
   ·敏感电容的结构分析第25-27页
     ·外界环境分析第25-26页
     ·结构研究第26-27页
   ·小结第27-28页
3 基于振荡电路电容开关的设计第28-36页
   ·电容开关设计的要求第28页
   ·电容式微功耗重力开关设计第28-35页
     ·敏感电容设计第29页
     ·电源研究及选取第29-31页
     ·敏感电容探测电路设计第31-35页
   ·小结第35-36页
4 电容开关的制作工艺第36-43页
   ·敏感电容材料研究第36-40页
     ·材料研究第36页
     ·平面度、粗糙度影响分析第36-38页
     ·高温下微观分析第38-40页
   ·开关制作第40-42页
     ·敏感电容制作第40-42页
     ·探测模块制作第42页
   ·小结第42-43页
5 开关性能测试第43-60页
   ·性能测试实验第43-54页
     ·芯片测试实验第43-47页
     ·手动倒置实验第47-49页
     ·加速度冲击实验第49-51页
     ·微功耗测试实验第51-54页
   ·测试数据分析第54-59页
   ·小结第59-60页
6 总结与展望第60-62页
   ·全文总结第60页
   ·创新点、不足和进一步工作第60-61页
     ·创新点第60页
     ·不足之处和下一步工作第60-61页
   ·成果应用前景与展望第61-62页
参考文献第62-65页
攻读硕士学位期间发表的论文及参与课题情况第65-66页
致谢第66页

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