| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-37页 |
| ·硅薄膜材料的分类与物性 | 第10-12页 |
| ·太阳电池的发展现状及硅材料在太阳电池中的应用 | 第12-22页 |
| ·太阳电池的发展现状 | 第12-17页 |
| ·硅基薄膜在太阳电池中的应用 | 第17-22页 |
| ·锂离子电池的发展及硅薄膜在锂离子电池中的应用 | 第22-31页 |
| ·锂离子电池负极材料的研究现状 | 第23-27页 |
| ·解决硅基负极材料容量衰减的途径 | 第27-31页 |
| ·本论文的主要工作 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 参考文献 | 第33-37页 |
| 第二章 硅材料的制备与表征 | 第37-66页 |
| ·微晶硅薄膜的制备方法 | 第37-48页 |
| ·微晶硅薄膜的直接制备法 | 第37-47页 |
| ·微晶硅薄膜的间接制备法 | 第47-48页 |
| ·硅纳米线的制备方法 | 第48-54页 |
| ·化学气相沉积法 | 第48-50页 |
| ·激光烧蚀法 | 第50-51页 |
| ·热蒸发法 | 第51-52页 |
| ·电化学刻蚀法 | 第52-53页 |
| ·溶液法 | 第53-54页 |
| ·材料表征技术的简单介绍 | 第54-62页 |
| ·X射线衍射(X-ray Diffraction,XRD) | 第54-55页 |
| ·拉曼光谱(Raman Spectroscopy) | 第55-56页 |
| ·傅立叶变换红外光谱分析(Infrared spectra analysis) | 第56-57页 |
| ·原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM) | 第57-58页 |
| ·扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM) | 第58-59页 |
| ·透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope,TEM) | 第59-60页 |
| ·光学透射谱(Optical Transmission Spectroscopy) | 第60-61页 |
| ·电导率测量 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 第三章 ICP-CVD低温制备微晶硅薄膜 | 第66-84页 |
| ·ICP-CVD低温制备微晶硅薄膜的研究意义 | 第66-67页 |
| ·ICP-CVD制备硅薄膜的低温晶化 | 第67-75页 |
| ·ICP-CVD制备硅薄膜的结构 | 第67-72页 |
| ·ICP-CVD制备硅薄膜的光学性质 | 第72-73页 |
| ·ICP-CVD制备硅薄膜的电学性质 | 第73-75页 |
| ·ICP-CVD制备硅薄膜的低温晶化过程 | 第75页 |
| ·塑料衬底上微晶硅薄膜的制备 | 第75-80页 |
| ·硅薄膜的结构 | 第76-77页 |
| ·硅薄膜生长的等离子体状态 | 第77-79页 |
| ·硅薄膜的光学性质 | 第79-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-84页 |
| 第四章 硅纳米线的制备与减反射性能 | 第84-96页 |
| ·硅纳米线的研究意义 | 第84页 |
| ·化学气相沉积法制备硅纳米线 | 第84-87页 |
| ·硅纳米线的CVD制备 | 第84-85页 |
| ·CVD制备硅纳米线的结构 | 第85-87页 |
| ·ICP-CVD法制备硅纳米线 | 第87-93页 |
| ·硅纳米线的ICP-CVD制备 | 第87-88页 |
| ·ICP-CVD制备硅纳米线的结构 | 第88-92页 |
| ·硅纳米线的减反射性能 | 第92-93页 |
| ·本章小结 | 第93-94页 |
| 参考文献 | 第94-96页 |
| 第五章 非晶硅薄膜在锂离子电池中的应用 | 第96-111页 |
| ·非晶硅薄膜作为锂离子电池负极材料的研究意义 | 第96页 |
| ·锂离子电池的组装与测试 | 第96-99页 |
| ·电子辐照非晶硅薄膜在锂离子电池中的应用 | 第99-106页 |
| ·电子辐照非晶硅薄膜的制备 | 第99页 |
| ·电子辐照对硅薄膜结构的影响 | 第99-101页 |
| ·电子辐照硅薄膜负极的锂离子电池性能 | 第101-106页 |
| ·VHF-PECVD制备的硅薄膜在锂离子电池中应用 | 第106-108页 |
| ·本章小结 | 第108-109页 |
| 参考文献 | 第109-111页 |
| 第六章 总结与展望 | 第111-113页 |
| ·本论文的主要结论 | 第111-112页 |
| ·工作展望 | 第112-113页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第113-114页 |
| 致谢 | 第114页 |
