| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-26页 |
| ·能源危机与能源变革 | 第12-14页 |
| ·晶硅光伏电池的发展历史与现状 | 第14-16页 |
| ·SOG-Si光伏电池中的常用吸杂工艺 | 第16-19页 |
| ·神经网络在半导体材料及器件中的应用现状 | 第19-20页 |
| ·主要研究内容及创新点 | 第20-21页 |
| 参考文献 | 第21-26页 |
| 第二章 硅光伏电池的器件物理基础 | 第26-42页 |
| ·半导体的能带论和掺杂原理 | 第26-27页 |
| ·pn结的形成及其数学描述 | 第27-37页 |
| ·热平衡态下的pn结 | 第27-30页 |
| ·基本方程 | 第30-32页 |
| ·外加电压下的pn结 | 第32-35页 |
| ·光照下的pn结 | 第35-37页 |
| ·硅光伏电池特性表征 | 第37-40页 |
| ·pn结硅光伏电池的等效电路、伏安特性及输出参数 | 第37-39页 |
| ·复合损失对于电池效率的影响 | 第39-40页 |
| ·小结 | 第40页 |
| 参考文献 | 第40-42页 |
| 第三章 单结硅光伏电池光生电流密度的数值模拟 | 第42-60页 |
| ·太阳辐射光谱 | 第42-43页 |
| ·单结硅光伏电池光生电流密度的数值分析 | 第43-48页 |
| ·光生电流密度计算模型 | 第44-45页 |
| ·单结硅光伏电池光生电流密度推导 | 第45-48页 |
| ·硅光伏电池光生电流密度的数值模拟实验 | 第48-58页 |
| ·实验目的及实验方法 | 第48页 |
| ·实验参数的设置 | 第48-50页 |
| ·实验结果及讨论 | 第50-56页 |
| ·实验结论 | 第56-58页 |
| ·小结 | 第58页 |
| 参考文献 | 第58-60页 |
| 第四章 PSL吸杂及其在SOG-SI光伏电池中的应用 | 第60-108页 |
| ·SOG-SI材料的缺陷和杂质 | 第60-62页 |
| ·非金属杂质 | 第60-61页 |
| ·金属杂质 | 第61-62页 |
| ·吸杂机理 | 第62-65页 |
| ·松弛吸杂 | 第63页 |
| ·分凝吸杂 | 第63-65页 |
| ·PSL刻蚀机理及制备 | 第65-75页 |
| ·PSL常用制备方法 | 第65页 |
| ·PSL化学刻蚀机理及形成过程 | 第65-68页 |
| ·各因素对PSL化学刻蚀特性的影响 | 第68-74页 |
| ·PSL的化学刻蚀制备与表征 | 第74-75页 |
| ·PSL吸杂实验 | 第75-78页 |
| ·PSL常规热处理吸杂实验 | 第76页 |
| ·PSL短周期、间隔重复吸杂(SDIDG(PSL)) | 第76-77页 |
| ·PSL磷吸杂实验 | 第77-78页 |
| ·实验测试设备及测试方法 | 第78-79页 |
| ·实验结果及讨论 | 第79-92页 |
| ·PSL常规热处理吸杂 | 第79-84页 |
| ·SDIDG(PSL)吸杂 | 第84-85页 |
| ·PSL-PDG | 第85-92页 |
| ·多孔硅吸杂在光伏电池制造工艺中的应用 | 第92-101页 |
| ·工艺流程 | 第92-100页 |
| ·电池性能分析 | 第100-101页 |
| ·小结 | 第101-102页 |
| 参考文献 | 第102-108页 |
| 第五章 PSL吸杂工艺神经网络分析方法研究 | 第108-133页 |
| ·神经网络的构成 | 第108-111页 |
| ·神经元模型 | 第108-110页 |
| ·神经网络模型 | 第110-111页 |
| ·BP神经网络 | 第111-118页 |
| ·BP神经网络(BPNN)模型 | 第111-112页 |
| ·BPNN学习算法 | 第112-117页 |
| ·BPNN训练与测试 | 第117-118页 |
| ·CVTPDG(PSL)吸杂效果预测BPNN模型网络结构设计 | 第118-121页 |
| ·输入层的设计 | 第118-119页 |
| ·输出层的设计 | 第119页 |
| ·样本的选择 | 第119-120页 |
| ·隐层数及隐层节点数的设计 | 第120-121页 |
| ·CVTPDG(PSL)吸杂效果BPNN预测模型网络结构图 | 第121页 |
| ·CVTPDG(PSL)吸杂效果预测BPNN模型创建及验证 | 第121-131页 |
| ·网络创建 | 第121-122页 |
| ·初始权值的设计 | 第122页 |
| ·样本数据的处理 | 第122-123页 |
| ·网络的训练 | 第123-125页 |
| ·模型的仿真及测试验证 | 第125-127页 |
| ·参数的灵敏度分析 | 第127-131页 |
| ·小结 | 第131页 |
| 参考文献 | 第131-133页 |
| 第六章 结论 | 第133-136页 |
| ·主要结论 | 第133-135页 |
| ·研究展望 | 第135-136页 |
| 附录 ERDA的标准光谱 | 第136-138页 |
| 在学期间的研究成果 | 第138-139页 |
| 致谢 | 第139页 |
