| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 课题研究的背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 光子晶体的基本理论研究方法 | 第11-14页 |
| 1.2.1 平面波展开法 | 第12页 |
| 1.2.2 时域有限差分法 | 第12-13页 |
| 1.2.3 有限元法 | 第13页 |
| 1.2.4 多重散射法 | 第13-14页 |
| 1.3 光子晶体传感器国内外研究现状 | 第14-15页 |
| 1.4 光子晶体制备工艺 | 第15-17页 |
| 1.4.1 机械制备法 | 第16页 |
| 1.4.2 交替沉膜法 | 第16页 |
| 1.4.3 半导体制造法 | 第16-17页 |
| 1.4.4 光学方法 | 第17页 |
| 1.5 论文结构安排 | 第17-19页 |
| 第二章 缺陷对二维光子晶体光学特性的影响 | 第19-29页 |
| 2.1 完美二维光子晶体的结构介绍 | 第19-20页 |
| 2.2 晶格常数和介质柱半径对带隙的影响 | 第20-24页 |
| 2.3 光子晶体缺陷模式分析 | 第24-28页 |
| 2.3.1 光子晶体缺陷种类介绍 | 第24-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 光子晶体微压力传感器的结构设计与分析 | 第29-39页 |
| 3.1 目前出现的光子晶体传感器的主要结构 | 第29页 |
| 3.2 光子晶体传感器的研究现状与意义 | 第29-30页 |
| 3.3 光子晶体微压力传感器的理论研究方法 | 第30-32页 |
| 3.4 光子晶体微压力传感器的结构设计 | 第32-35页 |
| 3.5 光子晶体微压力传感器的优化设计 | 第35-38页 |
| 3.6 本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 温度补偿型微压力传感器结构设计与分析 | 第39-68页 |
| 4.1 温度补偿型微压力传感器的原理 | 第39-40页 |
| 4.2 直角型分支波导结构的温度补偿型微压力传感器设计与分析 | 第40-47页 |
| 4.2.1 直角型分支波导结构的温度补偿型微压力传感器设计 | 第40-42页 |
| 4.2.2 直角型分支波导结构的温度补偿型微压力传感器性能分析 | 第42-47页 |
| 4.3 斜线型分支波导结构的温度补偿型微压力传感器设计与分析 | 第47-53页 |
| 4.3.1 波导A及腔A的设计与分析 | 第47-49页 |
| 4.3.2 波导B及腔B的设计与分析 | 第49-52页 |
| 4.3.3 双通道结构的设计与分析 | 第52-53页 |
| 4.4 耦合分支波导结构的带阻滤波微压力传感器设计与分析 | 第53-61页 |
| 4.4.1 耦合分支波导结构的带阻滤波微压力传感器设计 | 第54-57页 |
| 4.4.2 耦合分支波导结构的带阻滤波微压力传感器性能分析 | 第57-61页 |
| 4.5 分支波导结构的带通滤波微压力传感器设计与分析 | 第61-67页 |
| 4.5.1 分支波导结构的带通滤波微压力传感器设计 | 第61-62页 |
| 4.5.2 分支波导结构的带通滤波微压力传感器性能分析 | 第62-67页 |
| 4.6 本章小结 | 第67-68页 |
| 第五章 总结与展望 | 第68-70页 |
| 5.1 全文小结 | 第68-69页 |
| 5.2 展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 附录1 程序清单 | 第73-74页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第74-75页 |
| 附录3 攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
