| 中文摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-38页 |
| 1.1 类金刚石薄膜概述 | 第11-24页 |
| 1.1.1 DLC薄膜的组成和结构 | 第11-14页 |
| 1.1.2 DLC薄膜的制备和表征 | 第14-20页 |
| 1.1.2.1 DLC薄膜的制备 | 第14-15页 |
| 1.1.2.2 DLC薄膜的表征 | 第15-20页 |
| 1.1.3 DLC薄膜的性质和应用 | 第20-24页 |
| 1.2 电化学沉积DLC薄膜研究进展 | 第24-31页 |
| 1.2.1 引言 | 第24-25页 |
| 1.2.2 液相电化学沉积DLC薄膜实验装置的改进 | 第25-27页 |
| 1.2.3 液相电化学沉积DLC薄膜实验原理的发展 | 第27-30页 |
| 1.2.4 液相电化学沉积DLC薄膜实验的发展方向 | 第30-31页 |
| 1.3 论文选题依据和研究内容 | 第31-33页 |
| 参考文献 | 第33-38页 |
| 第二章 场发射研究 | 第38-66页 |
| 2.1 场发射研究进展 | 第38-48页 |
| 2.1.1 真空微电子学发展与应用 | 第38-41页 |
| 2.1.2 场发射阴极材料的发展 | 第41-48页 |
| 2.2 场发射理论研究 | 第48-60页 |
| 2.2.1 场发射理论模型 | 第50-56页 |
| 2.2.2 场发射曲线的弯曲 | 第56-60页 |
| 参考文献 | 第60-66页 |
| 第三章 不同尺度不锈钢衬底表面电化学沉积DLC薄膜 | 第66-84页 |
| 3.1 不同尺度平面不锈钢衬底上全方位电化学沉积DLC薄膜制备 | 第67-70页 |
| 3.1.1 实验装置、原料及仪器 | 第67-68页 |
| 3.1.2 衬底预处理 | 第68页 |
| 3.1.3 实验现象 | 第68-70页 |
| 3.2 DLC薄膜的表征 | 第70-77页 |
| 3.2.1 DLC薄膜的表征方法 | 第71页 |
| 3.2.2 液相电化学沉积DLC薄膜结构分析 | 第71-77页 |
| 3.3 不锈钢衬底表面DLC薄膜的电化学沉积机理 | 第77-80页 |
| 3.4 本章小结 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-84页 |
| 第四章 电化学制备ZnO-DLC薄膜及其场发射性能研究 | 第84-101页 |
| 4.1 电化学制备ZnO纳米颗粒掺杂类金刚石薄膜 | 第85-86页 |
| 4.1.1 实验装置、原料及仪器 | 第85页 |
| 4.1.2 实验现象 | 第85-86页 |
| 4.2 ZnO纳米颗粒掺杂DLC薄膜的表征 | 第86-92页 |
| 4.3 ZnO纳米颗粒掺杂类金刚石薄膜的电化学制备机理 | 第92-93页 |
| 4.4 电化学沉积类金刚石薄膜场发射性质研究 | 第93-96页 |
| 4.4.1 场发射测试装置 | 第93-94页 |
| 4.4.2 场发射测试结果 | 第94-96页 |
| 4.5 本章小结 | 第96-98页 |
| 参考文献 | 第98-101页 |
| 第五章电化学沉积Me-DLC复合薄膜及其场发射性能的研究 | 第101-120页 |
| 5.1 Me-DLC复合薄膜的制备 | 第102-104页 |
| 5.1.1 实验部分 | 第102-103页 |
| 5.1.2 实验现象 | 第103-104页 |
| 5.2 电化学沉积Me-DLC薄膜的表征 | 第104-111页 |
| 5.3 电化学沉积金属纳米颗粒掺杂DLC薄膜沉积机理 | 第111-112页 |
| 5.4 电化学沉积Me-DLC薄膜场发射性质能检测 | 第112-116页 |
| 5.5 本章小结 | 第116-118页 |
| 参考文献 | 第118-120页 |
| 第六章 结语 | 第120-123页 |
| 6.1 本论文主要研究内容与结论 | 第120-122页 |
| 6.2 液相电化学制备DLC薄膜的发展趋势 | 第122-123页 |
| 在学期间的研究成果 | 第123-124页 |
| 致谢 | 第124页 |
