| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 微机电系统的发展历程与现状 | 第11-12页 |
| 1.2.1 微机电系统的发展历史 | 第11-12页 |
| 1.2.2 微机电系统的研究现状 | 第12页 |
| 1.3 微谐振器简介与原理 | 第12-14页 |
| 1.3.1 微机电系统谐振器简介 | 第12-13页 |
| 1.3.2 微机电谐振器原理 | 第13-14页 |
| 1.4 品质因数 | 第14-15页 |
| 1.5 热弹性阻尼的研究现状 | 第15-18页 |
| 1.5.1 经典的理论模型 | 第15-17页 |
| 1.5.2 典型实验研究现状 | 第17-18页 |
| 1.6 本文研究意义与主要内容 | 第18-21页 |
| 1.6.1 本文研究意义 | 第18页 |
| 1.6.2 研究内容 | 第18-21页 |
| 第二章 现有经典结构谐振器件的热弹性阻尼理论模型 | 第21-35页 |
| 2.1 引言 | 第21页 |
| 2.2 热弹性阻尼的概念及产生机制 | 第21页 |
| 2.3 经典结构的热弹性阻尼模型 | 第21-33页 |
| 2.3.1 Zener模型 | 第21-24页 |
| 2.3.2 LR改进的理论模型 | 第24-26页 |
| 2.3.3 PV双层微梁热弹性阻尼理论模型 | 第26-29页 |
| 2.3.4 ME轴向振动微杆谐振器热弹性阻尼模型 | 第29-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-35页 |
| 第三章 轴向振动的双层圆柱微杆谐振器热弹性阻尼模型 | 第35-55页 |
| 3.1 双层圆柱微杆谐振器热弹性阻尼计算方法 | 第35-42页 |
| 3.1.1 轴向振动的双层圆柱微杆谐振器热弹性阻尼基础理论 | 第35-36页 |
| 3.1.2 轴向振动的双层圆柱微杆中温度场函数 | 第36-41页 |
| 3.1.3 双层圆柱微杆中能量损失的计算 | 第41页 |
| 3.1.4 双层圆柱微杆中最大弹性势能的计算 | 第41页 |
| 3.1.5 双层圆柱微杆谐振器热弹性阻尼模型 | 第41-42页 |
| 3.2 用格林函数法验证温度场函数 | 第42-44页 |
| 3.3.模型有效性及讨论 | 第44-53页 |
| 3.3.1 与轴向振动的均质单层杆模型比较 | 第44页 |
| 3.3.2 双层圆柱微杆谐振器热弹性阻尼解析模型的收敛性 | 第44-46页 |
| 3.3.3 现有数学模型与有限元模型的比较 | 第46-48页 |
| 3.3.4 外部激振力对双层圆柱微杆谐振器热弹性阻尼的影响 | 第48-49页 |
| 3.3.5 有限元模型中泊松比对结果的影响 | 第49-50页 |
| 3.3.6 双层圆柱微杆谐振器厚度对热弹性阻尼的影响 | 第50-51页 |
| 3.3.7 金属镀层对于Si杆谐振器热弹性阻尼的影响 | 第51-52页 |
| 3.3.8 双层圆柱微杆的长度对热弹性阻尼的影响 | 第52-53页 |
| 3.4 本章小结 | 第53-55页 |
| 第四章 轴向振动的三层圆柱微杆谐振器热弹性阻尼模型 | 第55-73页 |
| 4.1 三层圆柱微杆谐振器热弹性阻尼计算方法 | 第55-64页 |
| 4.1.1 三层圆柱微杆谐振器热弹性阻尼基础理论 | 第55-56页 |
| 4.1.2 轴向振动的三层圆柱微杆中温度场函数 | 第56-62页 |
| 4.1.3 三层圆柱微杆中能量损失的计算 | 第62-63页 |
| 4.1.4 三层圆柱微杆中最大弹性势能的计算 | 第63页 |
| 4.1.5 三层圆柱微杆谐振器热弹性阻尼模型 | 第63-64页 |
| 4.2 模型有效性及讨论 | 第64-71页 |
| 4.2.1 与轴向振动的均质单层微杆模型比较 | 第64页 |
| 4.2.2 三层圆柱微杆谐振器热弹性阻尼解析模型与二层圆柱微杆的比较 | 第64-65页 |
| 4.2.3 三层圆柱微杆谐振器热弹性阻尼模型的收敛性 | 第65-66页 |
| 4.2.4 现有数学模型与有限元模型的比较 | 第66-67页 |
| 4.2.5 轴向振动的三层圆柱微杆厚度变化对热弹性阻尼的影响 | 第67-69页 |
| 4.2.6 金属镀层对热弹性阻尼的影响 | 第69-70页 |
| 4.2.7 外部激振力大小对三层圆柱微杆热弹性阻尼的影响 | 第70页 |
| 4.2.8 模型局限性 | 第70-71页 |
| 4.3 本章小结 | 第71-73页 |
| 第五章 总结与展望 | 第73-75页 |
| 5.1 文章总结 | 第73-74页 |
| 5.1.1 本文完成的主要工作 | 第73页 |
| 5.1.2 从仿真结果得出结论 | 第73-74页 |
| 5.2 展望 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 附录A 轴向振动双层圆柱微杆热弹性阻尼模型MATLAB程序 | 第81-85页 |
| 附录B 轴向振动双层圆柱微杆热弹性阻尼模型ANSYS程序 | 第85-89页 |
| 附录C 轴向振动三层圆柱微杆热弹性阻尼模型MATLAB程序 | 第89-93页 |
| 附录D 轴向振动三层圆柱微杆热弹性阻尼模型ANSYS程序 | 第93-97页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第97页 |
