气动波纹管驱动超精密二维定位平台的关键技术研究
| 摘要 | 第9-10页 |
| Abstract | 第10-11页 |
| 第1章 绪论 | 第12-23页 |
| 1.1 研究背景 | 第12-13页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第13-20页 |
| 1.2.1 超精密二维平台的研究现状 | 第13-16页 |
| 1.2.2 气动伺服系统控制策略的研究现状 | 第16-19页 |
| 1.2.3 波纹管执行器的研究现状 | 第19-20页 |
| 1.3 研究意义及主要研究内容 | 第20-23页 |
| 1.3.1 研究意义 | 第20-21页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第21-23页 |
| 第2章 二维平台设计方案 | 第23-36页 |
| 2.1 平台总体设计方案 | 第23-26页 |
| 2.2 基于波纹管的超精密气动平台设计 | 第26-32页 |
| 2.2.1 波纹管执行器 | 第26-27页 |
| 2.2.2 电气比例阀驱动器 | 第27-28页 |
| 2.2.3 光栅尺传感器 | 第28-29页 |
| 2.2.4 气浮机构 | 第29-32页 |
| 2.3 下位机系统设计 | 第32-33页 |
| 2.3.1 驱动方案设计 | 第32-33页 |
| 2.3.2 控制器方案设计 | 第33页 |
| 2.4 上位机设计 | 第33-35页 |
| 2.4.1 LabVIEW介绍 | 第34页 |
| 2.4.2 LabVIEW方案设计 | 第34-35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第3章 数学模型搭建与模型建立 | 第36-45页 |
| 3.1 气动波纹管迟滞、蠕变特性分析 | 第36-37页 |
| 3.2 气动波纹管二维平台数学模型建立 | 第37-42页 |
| 3.2.1 动力学模型 | 第37-39页 |
| 3.2.2 热力学模型 | 第39-40页 |
| 3.2.3 质量流量模型 | 第40-42页 |
| 3.3 模型仿真研究 | 第42-44页 |
| 3.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 滑模控制在气动超精密定位平台中的研究 | 第45-56页 |
| 4.1 滑模简介 | 第45-48页 |
| 4.1.1 滑动模态的存在条件 | 第45-46页 |
| 4.1.2 系统滑动模态具有可达性 | 第46-47页 |
| 4.1.3 动态稳定性 | 第47-48页 |
| 4.1.4 滑模运动趋近律 | 第48页 |
| 4.2 气动超精密定位平台滑模控制策略 | 第48-51页 |
| 4.2.1 坐标变换与扩张状态观测器设计 | 第48-50页 |
| 4.2.2 变结构滑模设计 | 第50-51页 |
| 4.3 仿真研结果与分析 | 第51-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 高精度自适应输出反馈滑模控制算法 | 第56-77页 |
| 5.1 观测器优化设计 | 第56-61页 |
| 5.1.1 RBF神经网络概述 | 第56-58页 |
| 5.1.2 神经网络观测器方案设计 | 第58-60页 |
| 5.1.3 观测器稳定性分析 | 第60-61页 |
| 5.2 自适应输出反馈递归滑模方案设计 | 第61-69页 |
| 5.2.1 控制方案设计 | 第61-63页 |
| 5.2.2 系统稳定性证分析 | 第63-69页 |
| 5.3 仿真验证与对比 | 第69-74页 |
| 5.4 实验验证 | 第74-76页 |
| 5.5 本章小结 | 第76-77页 |
| 第6章 结论与展望 | 第77-79页 |
| 6.1 结论 | 第77页 |
| 6.2 展望 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-85页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及科研工作 | 第85-86页 |
| 致谢 | 第86页 |
