高速钢刀具表面磁控溅射CrN涂层及其性能研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-22页 |
| 1.1 刀具涂层技术分类与发展 | 第10-11页 |
| 1.2 溅射技术原理 | 第11-12页 |
| 1.3 溅射技术特点及分类 | 第12-15页 |
| 1.3.1 直流溅射 | 第12-13页 |
| 1.3.2 射频溅射 | 第13-14页 |
| 1.3.3 反应溅射 | 第14页 |
| 1.3.4 磁控溅射 | 第14-15页 |
| 1.4 CrN涂层类型及其应用 | 第15-18页 |
| 1.4.1 二元系CrN涂层 | 第15-16页 |
| 1.4.2 多元系CrN涂层 | 第16-17页 |
| 1.4.3 多层梯度CrN涂层 | 第17页 |
| 1.4.4 纳米超晶格CrN涂层 | 第17-18页 |
| 1.4.5 CrN涂层在机械领域中的应用 | 第18页 |
| 1.5 涂层的生长模式 | 第18-20页 |
| 1.6 研究工作的目的和意义 | 第20-21页 |
| 1.7 本文的结构及主要研究内容 | 第21-22页 |
| 第二章 试验设备及表征方法 | 第22-27页 |
| 2.1 试验材料 | 第22页 |
| 2.2 制备过程 | 第22-23页 |
| 2.3 正交试验设计 | 第23-24页 |
| 2.4 涂层性能的表征 | 第24-27页 |
| 2.4.1 膜厚的测定 | 第24页 |
| 2.4.2 膜基结合力测定 | 第24-25页 |
| 2.4.3 表面粗糙度的测定 | 第25页 |
| 2.4.4 硬度的测定 | 第25页 |
| 2.4.5 摩擦磨损实验 | 第25-26页 |
| 2.4.6 表面形貌与显微结构分析 | 第26页 |
| 2.4.7 物相及晶粒度检测 | 第26-27页 |
| 第三章 制备CrN涂层及正交实验分析 | 第27-34页 |
| 3.1 CrN涂层正交试验结果 | 第27页 |
| 3.2 影响因素分析 | 第27-33页 |
| 3.2.1 膜厚的影响因素分析 | 第27-29页 |
| 3.2.2 显微硬度的影响因素分析 | 第29-30页 |
| 3.2.3 表面粗糙度的影响因素分析 | 第30-31页 |
| 3.2.4 膜基结合力的影响因素分析 | 第31-33页 |
| 3.3 工艺的优化 | 第33-34页 |
| 第四章 工艺条件对涂层微观结构及其性能的影响 | 第34-57页 |
| 4.1 靶功率对涂层性能的影响 | 第34-42页 |
| 4.1.1 沉积速率 | 第34-35页 |
| 4.1.2 表面与截面形貌 | 第35-37页 |
| 4.1.3 显微硬度与膜基结合力 | 第37-41页 |
| 4.1.4 组织结构与化学组成 | 第41-42页 |
| 4.2 镀膜时间对涂层性能的影响 | 第42-49页 |
| 4.2.1 沉积速率 | 第42-43页 |
| 4.2.2 表面与截面形貌 | 第43-44页 |
| 4.2.3 显微硬度与膜基结合力 | 第44-47页 |
| 4.2.4 组织结构与化学组成 | 第47-49页 |
| 4.3 氮气流量对涂层性能的影响 | 第49-55页 |
| 4.3.1 沉积速率 | 第49-50页 |
| 4.3.2 表面与截面形貌 | 第50-51页 |
| 4.3.3 显微硬度与膜基结合力 | 第51-54页 |
| 4.3.4 组织结构与化学组成 | 第54-55页 |
| 4.4 小结 | 第55-57页 |
| 第五章 不同工艺条件下刀具涂层摩擦学性能研究 | 第57-65页 |
| 5.1 摩擦系数分析 | 第57-60页 |
| 5.2 磨痕形貌与轮廓分析 | 第60-64页 |
| 5.3 小结 | 第64-65页 |
| 第六章 结论与展望 | 第65-69页 |
| 6.1 结论 | 第65-66页 |
| 6.2 展望 | 第66-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 攻读学位期间取得的研究成果 | 第75页 |
