| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题来源及研究背景与意义 | 第10-11页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第10页 |
| 1.1.2 研究背景与意义 | 第10-11页 |
| 1.2 超精密空气静压主轴简介 | 第11-12页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第12-17页 |
| 1.3.1 主轴回转误差测量方法的研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3.2 移相干涉技术的研究现状 | 第14-15页 |
| 1.3.3 图像处理在边缘检测领域的研究现状 | 第15-17页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 主轴回转误差测量原理研究 | 第18-27页 |
| 2.1 主轴回转误差运动 | 第18-20页 |
| 2.1.1 主轴回转误差概述 | 第18-19页 |
| 2.1.2 主轴回转误差对加工精度的影响 | 第19-20页 |
| 2.2 主轴回转误差测量方法 | 第20-22页 |
| 2.2.1 主轴回转误差的传统测量方法 | 第20-22页 |
| 2.2.2 超精密空气静压主轴测量方法 | 第22页 |
| 2.3 主轴回转误差光学干涉测量方法可行性分析 | 第22-26页 |
| 2.3.1 干涉条纹形成机理分析 | 第22-24页 |
| 2.3.2 主轴回转误差光学干涉测量可行性分析 | 第24-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 主轴回转误差光学干涉测量理论建模 | 第27-37页 |
| 3.1 主轴回转误差光学干涉测量原理 | 第27-29页 |
| 3.2 干涉条纹形状与主轴倾角误差数学模型建立 | 第29-35页 |
| 3.2.1 基准坐标系旋转变换 | 第29-30页 |
| 3.2.2 入射光、反射光与平面法向量的求解 | 第30-31页 |
| 3.2.3 测量光路中各光束方向向量的求解 | 第31页 |
| 3.2.4 测量光路中各光束点的向量求解 | 第31-33页 |
| 3.2.5 干涉条纹方向与主轴倾角误差数学模型的建立 | 第33页 |
| 3.2.6 干涉条纹间距与主轴倾角误差数学模型的建立 | 第33-35页 |
| 3.3 干涉条纹与主轴倾角误差关系的仿真分析 | 第35-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 干涉条纹图像处理技术研究 | 第37-50页 |
| 4.1 干涉条纹采集处理系统建立 | 第37页 |
| 4.2 干涉条纹图像预处理技术研究 | 第37-44页 |
| 4.2.1 干涉条纹图像噪声处理 | 第37-42页 |
| 4.2.2 干涉条纹阈值分割 | 第42-44页 |
| 4.3 干涉条纹边缘检测 | 第44-48页 |
| 4.4 干涉条纹间距与方向的求解 | 第48-49页 |
| 4.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 第5章 超精密主轴回转误差光学干涉测量实验研究 | 第50-63页 |
| 5.1 光学干涉测量系统的建立 | 第50-55页 |
| 5.1.1 测量系统的总体设计 | 第50-51页 |
| 5.1.2 测量仪器的选择 | 第51-52页 |
| 5.1.3 光学平晶装夹调整结构的设计 | 第52-55页 |
| 5.1.4 光学干涉测量系统的总体结构 | 第55页 |
| 5.2 超精密主轴回转误差光学干涉测量实验 | 第55-60页 |
| 5.2.1 光学平晶精密调整实验 | 第56-58页 |
| 5.2.2 主轴倾角回转误差测量实验 | 第58-60页 |
| 5.3 实验结果对比验证与测试系统误差分析 | 第60-62页 |
| 5.3.1 实验结果对比验证 | 第60-61页 |
| 5.3.2 测试系统误差分析 | 第61-62页 |
| 5.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 学位期间的研究成果 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |