| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 钛合金概述 | 第9-10页 |
| 1.2 类金刚石薄膜概述 | 第10-15页 |
| 1.2.1 类金刚石薄膜的结构 | 第10页 |
| 1.2.2 类金刚石薄膜的制备 | 第10-12页 |
| 1.2.3 类金刚石薄膜的表征 | 第12-15页 |
| 1.3 超厚类金刚石薄膜概述 | 第15-18页 |
| 1.3.1 引入过渡层 | 第15-16页 |
| 1.3.2 元素掺杂 | 第16-17页 |
| 1.3.3 多层结构设计 | 第17-18页 |
| 1.4 超厚DLC薄膜制备工艺及研究进展 | 第18-19页 |
| 1.5 选题依据和研究内容 | 第19-21页 |
| 2 不同过渡层DLC薄膜制备、结构及性能 | 第21-31页 |
| 2.1 单层过渡层对DLC薄膜结构和性能的影响 | 第21-25页 |
| 2.1.1 实验部分 | 第21-22页 |
| 2.1.2 结果与讨论 | 第22-25页 |
| 2.1.3 小结 | 第25页 |
| 2.2 Cr基梯度过渡层对DLC薄膜结构和性能的影响 | 第25-31页 |
| 2.2.1 实验部分 | 第26页 |
| 2.2.2 结果与讨论 | 第26-30页 |
| 2.2.3 小结 | 第30-31页 |
| 3 不同厚度(Si_x-DLC/Si_y-DLC)_n薄膜制备、结构及性能 | 第31-39页 |
| 3.1 实验部分 | 第32-33页 |
| 3.1.1 不同厚度(Si_x-DLC/Si_y-DLC)_n薄膜的制备 | 第32-33页 |
| 3.1.2 不同厚度(Si_x-DLC/Si_y-DLC)_n薄膜的表征 | 第33页 |
| 3.2 结果与讨论 | 第33-38页 |
| 3.2.1 不同厚度(Si_x-DLC/Si_y-DLC)_n薄膜的结构 | 第33-34页 |
| 3.2.2 不同厚度(Si_x-DLC/Si_y-DLC)_n薄膜的力学性能 | 第34-36页 |
| 3.2.3 不同厚度(Si_x-DLC/Si_y-DLC)_n薄膜的摩擦学性能 | 第36-38页 |
| 3.3 小结 | 第38-39页 |
| 4 超厚DLC薄膜的性能优化 | 第39-53页 |
| 4.1 调制周期对超厚(Si_x-DLC/Si_y-DLC)_n/DLC薄膜结构和性能的影响 | 第40-46页 |
| 4.1.1 实验部分 | 第40-41页 |
| 4.1.2 结果与讨论 | 第41-45页 |
| 4.1.3 小结 | 第45-46页 |
| 4.2 调制比例对超厚(Si_x-DLC/Si_y-DLC)20/DLC薄膜结构和性能的影响 | 第46-53页 |
| 4.2.1 实验部分 | 第46-47页 |
| 4.2.2 结果与讨论 | 第47-51页 |
| 4.2.3 小结 | 第51-53页 |
| 5 总结与展望 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-63页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文及取得的研究成果 | 第63页 |
