| 摘要 | 第12-14页 |
| Abstract | 第14-15页 |
| 第一章 绪论 | 第16-30页 |
| 1.1 课题的来源及意义 | 第16-18页 |
| 1.1.1 课题的来源 | 第16页 |
| 1.1.2 课题研究的背景和意义 | 第16-18页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第18-27页 |
| 1.2.1 KDP晶体加工工艺综述 | 第18-21页 |
| 1.2.2 KDP晶体切削理论综述 | 第21-24页 |
| 1.2.3 KDP晶体加工水平现状 | 第24-27页 |
| 1.2.4 小结 | 第27页 |
| 1.3 论文主要的研究内容 | 第27-30页 |
| 第二章 KDP晶体塑性域切削机理研究 | 第30-49页 |
| 2.1 刀具几何参数对KDP晶体脆塑转变的影响规律分析 | 第30-35页 |
| 2.1.1 螺旋刻划的实验方法及其实现 | 第30-32页 |
| 2.1.2 刀具几何参数对KDP晶体脆塑转变的影响 | 第32-35页 |
| 2.2 切削参数对KDP晶体脆塑转变的影响规律分析 | 第35-42页 |
| 2.2.1 进给速度和切削深度对脆塑转变的影响 | 第35-37页 |
| 2.2.2 切削线速度对脆塑转变的影响 | 第37-42页 |
| 2.3 KDP晶体各向异性对加工的影响分析 | 第42-47页 |
| 2.3.1 各向异性材料机械特性的理论研究 | 第42-43页 |
| 2.3.2 全晶向塑性域车削实现的条件分析 | 第43-44页 |
| 2.3.3 全晶向塑性域车削实验验证 | 第44-45页 |
| 2.3.4 已加工表面的表面质量一致性检测和评价 | 第45-47页 |
| 2.4 本章小结 | 第47-49页 |
| 第三章 KDP晶体波前畸变误差的控制工艺 | 第49-66页 |
| 3.1 真空吸附变形特征的实验研究 | 第49-54页 |
| 3.1.1 飞切工艺迭代加工的收敛特性研究 | 第49-50页 |
| 3.1.2 吸附压力变化对吸附变形误差的影响规律分析 | 第50-54页 |
| 3.2 吸附变形误差补偿工艺的原理和实现 | 第54-57页 |
| 3.2.1 补偿工艺的原理 | 第54-56页 |
| 3.2.2 补偿工艺的实现 | 第56-57页 |
| 3.3 补偿工艺的误差分析 | 第57-60页 |
| 3.3.1 在位检测过程中的误差分析 | 第58页 |
| 3.3.2 试件装夹过程中的误差分析 | 第58-59页 |
| 3.3.3 补偿车削过程中的误差分析 | 第59-60页 |
| 3.4 补偿工艺实验 | 第60-64页 |
| 3.4.1 反射波前误差的补偿实验 | 第60-62页 |
| 3.4.2 透射波前误差的补偿实验和误差分析 | 第62-64页 |
| 3.4.3 提高补偿精度的改进措施 | 第64页 |
| 3.5 本章小结 | 第64-66页 |
| 第四章 KDP晶体周期性波纹误差的控制工艺 | 第66-88页 |
| 4.1 周期性波纹误差造成的衍射效应分析 | 第66-70页 |
| 4.1.1 衍射效应的傅里叶光学计算原理 | 第66-68页 |
| 4.1.2 KDP晶体所在光路中的衍射光强计算方法 | 第68-69页 |
| 4.1.3 车削和飞切产生的波纹误差的对比 | 第69-70页 |
| 4.2 空气静压主轴特性对周期性波纹误差的影响机理分析 | 第70-77页 |
| 4.2.1 供气压力波动导致空气静压主轴轴向运动的分析 | 第71-72页 |
| 4.2.2 主轴轴向运动导致已加工表面周期性波纹误差的分析 | 第72-73页 |
| 4.2.3 实验验证 | 第73-77页 |
| 4.3 真空吸附变形对周期性波纹误差的影响分析 | 第77-81页 |
| 4.3.1 真空吸附变形的有限元仿真分析 | 第78-80页 |
| 4.3.2 真空吸附变形对周期性波纹误差影响的实验观测 | 第80-81页 |
| 4.4 切削参数对周期性波纹误差的影响分析 | 第81-86页 |
| 4.4.1 主轴转速对周期性波纹误差的影响 | 第82-84页 |
| 4.4.2 进给速度对周期性波纹误差的影响 | 第84-85页 |
| 4.4.3 切削深度对周期性波纹误差的影响 | 第85-86页 |
| 4.4.4 小结 | 第86页 |
| 4.5 本章小结 | 第86-88页 |
| 第五章 KDP晶体表面质量的控制工艺 | 第88-100页 |
| 5.1 基于亚表面缺陷深度观测的粗加工工艺优化研究 | 第88-95页 |
| 5.1.1 光学元件的亚表面缺陷及检测手段介绍 | 第89-90页 |
| 5.1.2 适用于KDP晶体的亚表面缺陷观测技术及实现 | 第90-92页 |
| 5.1.3 切削参数对亚表面缺陷深度的影响 | 第92-95页 |
| 5.2 精加工工艺参数优化的实验研究 | 第95-99页 |
| 5.2.1 精加工切削参数优化的实验研究 | 第95-97页 |
| 5.2.2 加工中的雾化及其抑制研究 | 第97-99页 |
| 5.3 本章小结 | 第99-100页 |
| 第六章 典型加工实例 | 第100-114页 |
| 6.1 Φ270mmKDP晶体的补偿车削加工实例 | 第100-105页 |
| 6.2 100mm×100mmKDP晶体补偿车削-磁流变抛光组合加工实例 | 第105-112页 |
| 6.3 正弦相位板型KDP晶体车削加工实例 | 第112-113页 |
| 6.4 本章小结 | 第113-114页 |
| 第七章 总结与展望 | 第114-117页 |
| 7.1 总结 | 第114-116页 |
| 7.2 展望 | 第116-117页 |
| 致谢 | 第117-121页 |
| 参考文献 | 第121-130页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第130-132页 |
| 1 发表的论文 | 第130页 |
| 2 发明专利 | 第130-132页 |
| 附录A 刻划实验中刻槽的显微镜照片 | 第132-134页 |
