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砷化物半导体MBE原位脉冲激光表面辐照的研究

中文摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第一章 绪论第9-19页
    1.1 引言第9页
    1.2 半导体电子态第9-12页
    1.3 量子点的研究现状以及应用前景第12-16页
        1.3.1 量子点和自组装InAs量子点结构第12页
        1.3.2 自组织量子点的生长第12-13页
        1.3.3 InAs/GaAs量子点的应用及研究现状第13-16页
    1.4 激光辐照半导体表面研究现状及应用第16-17页
    1.5 论文研究的目的与意义及本文的主要研究内容第17-19页
第二章 MBE生长技术制备量子点及表征技术简介第19-33页
    2.1 分子束外延(MBE)第19-22页
    2.2 反射高能电子衍射第22-27页
        2.2.1 RHEED原理及GaAs(100)表面再构第22-24页
        2.2.2 利用RHEED振荡测试生长速率第24-25页
        2.2.3 InAs/GaAs(100)量子点的生长RHEED监测第25-27页
        2.2.4 生长工艺对InAs/GaAs量子点的影响第27页
    2.3 表面形貌表征第27-29页
    2.4 脉冲激光光路的搭建第29-31页
    2.5 本章小结第31-33页
第三章 紫外纳秒脉冲激光原位辐照GaAs(100)表面的研究第33-45页
    3.1 引言第33页
    3.2 GaAs(100)外延生长过程中原位辐照实验第33-34页
    3.3 激光辐照GaAs(100)表面RHEED实时监测研究第34-37页
    3.4 单脉冲激光辐照对GaAs(100)表面形貌影响第37-38页
    3.5 多脉冲激光辐照GaAs(100)表面实验第38-44页
    3.6 本章小结第44-45页
第四章 紫外纳秒脉冲激光原位辐照对InAs/GaAs(100)量子点外延生长的研究第45-55页
    4.1 引言第45-46页
    4.2 InAs/GaAs外延生长过程中紫外纳秒脉冲激光辐照实验第46页
    4.3 紫外纳秒脉冲激光对InAs/GaAs(100)量子浸润层的影响研究第46-49页
    4.4 紫外纳秒脉冲激光原位辐照对量子点生长的影响第49-54页
        4.4.1 低能量密度脉冲激光原位辐照量子点生长第49-51页
        4.4.2 高能量密度脉冲激光辐照量子点生长第51-54页
    4.5 本章小结第54-55页
第五章 总结与展望第55-57页
    5.1 全文总结第55-56页
    5.2 研究展望第56-57页
参考文献第57-62页
攻读学位期间公开发表的论文第62-63页
致谢第63-64页

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