| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第12-23页 |
| 1.1 课题的研究背景与意义 | 第12-15页 |
| 1.2 外差激光干涉测量中周期非线性误差的研究现状 | 第15-21页 |
| 1.2.1 周期非线性误差模型的研究现状 | 第17-18页 |
| 1.2.2 周期非线性误差补偿与抑制技术的发展现状 | 第18-20页 |
| 1.2.3 周期非线性误差测量技术的发展现状 | 第20-21页 |
| 1.3 本领域存在的重要科学问题 | 第21-22页 |
| 1.4 课题主要研究内容 | 第22-23页 |
| 第2章 周期非线性误差模型与补偿技术研究 | 第23-72页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 外差激光干涉测量原理及系统 | 第23-33页 |
| 2.2.1 外差激光干涉测量原理 | 第23-27页 |
| 2.2.2 外差激光干涉测量系统 | 第27-33页 |
| 2.3 周期非线性误差模型 | 第33-53页 |
| 2.3.1 周期非线性误差源分析 | 第33-35页 |
| 2.3.2 周期非线性误差模型的建立 | 第35-44页 |
| 2.3.3 周期非线性误差仿真分析 | 第44-53页 |
| 2.4 周期非线性误差特性分析 | 第53-61页 |
| 2.4.1 一阶周期非线性误差 | 第56-58页 |
| 2.4.2 二阶周期非线性误差 | 第58-60页 |
| 2.4.3 高速周期非线性误差 | 第60-61页 |
| 2.5 周期非线性误差补偿技术分析 | 第61-71页 |
| 2.5.1 正交测量补偿法 | 第61-64页 |
| 2.5.2 椭圆拟合补偿法 | 第64-69页 |
| 2.5.3 Chu-Ray补偿法 | 第69-71页 |
| 2.6 本章小结 | 第71-72页 |
| 第3章 周期非线性误差抑制技术研究 | 第72-89页 |
| 3.1 引言 | 第72页 |
| 3.2 非共轴光路式外差干涉结构分析 | 第72-78页 |
| 3.3 外差干涉结构的热误差分析 | 第78-80页 |
| 3.4 非共轴平衡光路式外差激光干涉仪结构设计 | 第80-88页 |
| 3.4.1 传统共轴外差干涉仪的光程平衡性分析 | 第80-82页 |
| 3.4.2 偏振分光棱镜的合光特性分析 | 第82-85页 |
| 3.4.3 构建非共轴平衡光路式外差激光干涉仪 | 第85-88页 |
| 3.5 本章小结 | 第88-89页 |
| 第4章 周期非线性误差测量技术研究 | 第89-102页 |
| 4.1 引言 | 第89页 |
| 4.2 周期非线性误差的信号特性分析 | 第89-93页 |
| 4.3 正交解调测量法 | 第93-99页 |
| 4.4 频谱分析测量法 | 第99-101页 |
| 4.5 本章小结 | 第101-102页 |
| 第5章 周期非线性误差测量实验与分析 | 第102-112页 |
| 5.1 引言 | 第102页 |
| 5.2 周期非线性误差测量实验系统 | 第102-105页 |
| 5.2.1 实验系统 | 第102页 |
| 5.2.2 频差可调的双光束光源 | 第102-103页 |
| 5.2.3 非共轴平衡光路式单轴四细分外差激光干涉仪 | 第103-105页 |
| 5.3 实验结果与分析 | 第105-111页 |
| 5.4 本章小结 | 第111-112页 |
| 结论 | 第112-115页 |
| 参考文献 | 第115-124页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第124-128页 |
| 致谢 | 第128-129页 |
| 个人简历 | 第129页 |
