| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| ·研究课题背景 | 第8-9页 |
| ·SAW传感器研究现状和发展趋势 | 第9-10页 |
| ·SAW传感器研究现状 | 第9-10页 |
| ·SAW传感器发展趋势 | 第10页 |
| ·该篇论文研究的目的 | 第10-11页 |
| ·文章结构安排如下 | 第11-12页 |
| 第二章 声表面波传感器的基本原理和器件的设计 | 第12-26页 |
| ·声表面波传感器的基本原理 | 第18-22页 |
| ·SAW器件的设计 | 第22-25页 |
| ·SAW传感器器件基底材料的选择 | 第23页 |
| ·叉指换能器的设计 | 第23-25页 |
| ·本章总结 | 第25-26页 |
| 第三章 SAW传感器器件的加工工艺的研究 | 第26-29页 |
| 第四章 SAW传感器敏感薄膜的研究 | 第29-42页 |
| ·敏感膜材料的研究和成膜方法 | 第29-32页 |
| ·敏感薄膜材料的研究 | 第29-30页 |
| ·成膜方法 | 第30-32页 |
| ·半导体有机材料酞菁锌和掺杂材料碳纳米管 | 第32-39页 |
| ·ZnPc作为SAW器件敏感薄膜的研究 | 第32-36页 |
| ·碳纳米管/酞菁锌作为SAW器件的敏感薄膜的研究 | 第36-39页 |
| ·综合分析和讨论掺杂与否的ZnPc薄膜的测试结果 | 第39-40页 |
| ·ZnPc和ZnPc/MWCNTs薄膜的SAW传感器器件的选择性和稳定性 | 第40-41页 |
| ·本章总结 | 第41-42页 |
| 第五章 工作总结与未来的展望 | 第42-44页 |
| ·工作总结 | 第42页 |
| ·未来研究展望 | 第42-44页 |
| 参考文献 | 第44-48页 |
| 致谢 | 第48-49页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文情况 | 第49页 |